Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251690 à vendre en France
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ID: 9251690
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Vertical LPCVD furnaces, 12"
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est un équipement de graveur/asher fabriqué par TEL qui est utilisé par l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de divers dispositifs microélectroniques tels que le traitement des plaquettes, la fabrication de MEMS et l'encapsulation en couches minces. Il est conçu pour permettre la gravure de précision et la cueillette de matériaux de substrat pour réaliser des formes souhaitées. Le système est composé d'un contrôleur, d'une chambre de gravure et d'une unité de vide. Le contrôleur de la machine TEL TELINDY Plus fournit les interfaces utilisateur nécessaires pour configurer le processus de gravure et initier le programme. Le contrôleur dispose d'algorithmes logiciels avancés qui permettent l'ajustement automatique des paramètres de gravure, donnant aux utilisateurs plus de contrôle et de flexibilité sur le processus. La chambre de procédé de gravure est une chambre entièrement en verre qui est utilisée pour loger le substrat pendant la gravure et la cueillette. La chambre est équipée de systèmes de distribution de gaz spécialisés, d'une électrode de gravure et de capteurs de pression et de température. Il est conçu pour fournir un environnement de gravure très défini et assurer des résultats de gravure uniformes et cohérents. L'outil à vide de TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est composé d'une pompe à ions getter et d'une pompe à aubes rotatives, fournissant le niveau de vide nécessaire pour le traitement du substrat. Le modèle dispose également d'une turbomachine qui supporte le maintien du niveau de vide et aide au transfert de chaleur des processus de gravure. L'équipement TELINDY Plus est conçu avec une électrode optiquement transparente qui est utilisée pour créer un champ électrique pour la gravure précise et l'ashing des plaquettes. L'électrode garantit également des profils de gravure uniformes et reproductibles. Le système est compatible avec une variété de gaz et peut être utilisé pour mettre en œuvre différents procédés de gravure humide à la gravure sèche. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est une machine de graveur/asher fiable et efficace qui est idéale pour les techniciens travaillant dans l'industrie des semi-conducteurs. L'outil offre un niveau avancé d'automatisation, un profilage de gravure précis, et une variété d'options de processus qui en font un choix idéal pour le traitement des plaquettes.
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