Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9313289 à vendre en France
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ID: 9313289
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Vertical LPCVD furnace, 12"
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus est un graveur/asher chimique de pointe fabriqué par TEL, conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. TEL TELINDY Plus est un graveur à vapeur chimique qui utilise la maintenance sans contact, ce qui implique l'échange de composants comme une unité sans avoir à arrêter le processus de gravure. Il dispose également d'un design modulaire, permettant une grande variété de recettes de processus à utiliser. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus se compose d'un corps principal, d'une chambre de procédé, d'une pompe à vide et d'un étage de plaquettes. Le corps principal est l'endroit où se trouvent l'étage de plaquette, la pompe à vide et le panneau de commande du processus. L'étage de plaquette est une plate-forme où la plaquette est placée pour être gravée ou lavée. La pompe à vide est utilisée pour réduire la pression de la chambre de procédé pour créer un environnement de vide pour la gravure afin de graver simultanément plusieurs plaquettes à la fois. Le panneau de contrôle du processus est utilisé pour contrôler et surveiller le processus du début à la fin, ainsi que pour modifier les paramètres pour optimiser les performances de gravure. TELINDY Plus utilise le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour déposer une fine couche diélectrique sur le dessus de la plaquette. Cette couche sert de masque pour déterminer quels motifs ou formes seront gravés hors de la plaquette. Le procédé de gravure consiste à exposer la plaquette à un graveur chimique dans une chambre à vide, ce qui érode le matériau dans la zone désirée. Une fois ce processus terminé, une série de gaz de haute pureté est envoyée dans la chambre pour laver l'agent de décoloration et nettoyer la plaquette. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus offre aux utilisateurs un environnement étroitement contrôlé pour une répétabilité maximale et un contrôle des processus. Il a la capacité d'ajuster avec précision la température, la pression, la vitesse de rotation et le mélange gazeux. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser le processus et d'obtenir des résultats de gravure maximaux. Il offre également une grande précision de débit de gaz pour une livraison précise du gaz et une uniformité. TEL TELINDY Plus est bien équipé avec des dispositifs de sécurité tels que des capteurs de pression, des capteurs de fuite, des capteurs de température avec une fonction d'alarme et un arrêt de surpression. L'interface utilisateur intuitive permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler facilement le processus de gravure du début à la fin. En outre, TOKYO ELECTRON TELINDY Plus offre une variété d'options pour la personnalisation. Dans l'ensemble, TELINDY Plus est un graveur chimique avancé. Il a les capacités pour la gravure précise et la livraison uniforme de gaz, ainsi que des caractéristiques de sécurité avancées et la polyvalence dans la personnalisation. C'est la solution parfaite pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices.
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