Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM #293802362 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM est un équipement avancé de gravure ou de cendrage, conçu pour la gravure haute planarisation et le cendrage d'une grande variété de substrats. Ce système permet une modification de surface précise des substrats de circuits intégrés et d'autres matériaux nécessitant une meilleure planarisation. Le Telius 313 est spécialement optimisé pour les structures de résilience 2 et 3-D et les processus de gravure/ashing à haut rapport d'aspect. Grâce à sa capacité de gravure et de cendrage à des températures extrêmement basses, TEL Telius 305 DRM est idéal pour l'utilisation de diélectriques perfectionnés à faible k et de substrats à haute résistivité. TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM est composé d'une base de plate-forme avec deux chambres de réacteur verticales (ou EDAC). Chaque EDAC est équipé d'une série de sources multiples RF/DC et de générateurs de plasma à distance pour la gravure verticale/ashing ainsi que d'une source de résonance cyclotron électronique (ECR) pour les applications de gravure horizontale/ashing. L'unité est équipée de deux conduites d'alimentation en gaz de chaque EDAC, permettant d'utiliser une large gamme de gaz pour diverses applications. Telius 305 DRM est capable de produire des surfaces de planarisation de très haute qualité avec une capacité de remplissage supérieure et une production minimale de résidus grâce à ses plasmas de zone de contrôle précis. La machine est également capable de réaliser des creux très propres avec des profils sans entrefer non uniformes même sur des rapports d'aspect élevés. Cela rend TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 DRM particulièrement bon pour la gravure et la cueillette de divers matériaux dont la résine photosensible, les plaquettes de silicium, les semi-conducteurs III-V et les polymères. TEL Telius 305 DRM a un faible budget thermique, générant seulement une contrainte thermique minimale sur le matériau, il est donc adapté pour la gravure diélectrique avancée à faible k/cendrage. Cet outil a également un débit exceptionnellement élevé en raison de son architecture unique à deux chambres qui permet la gravure simultanée et la cueillette de plusieurs plaquettes. Le TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM offre également une très grande homogénéité et répétabilité des processus, et sa fonction de remplissage sans précédent permet de planer même des couches sur des tailles aussi petites que 0,2 micron. Telius 305 DRM est bien adapté pour la gravure haute planarisation et le cendrage d'une large gamme de substrats, et ses capacités particulièrement avancées en font un choix idéal pour le cendrage/gravure diélectrique à bas k avancé. Son large éventail de caractéristiques, y compris un contrôle précis de la température, et une grande uniformité de débit et de processus en font un excellent dispositif de gravure et de cueillette de divers matériaux.