Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM #9294211 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM est un équipement de graveur à sec automatisé conçu pour des solutions de gravure de haute qualité et performantes. L'etcher est basé sur la plate-forme avancée et éprouvée Telius 305, qui est utilisée depuis de nombreuses années dans diverses applications. Le système utilise des technologies propriétaires de chauffage par faisceau d'électrons et de sources de plasma d'hydrogène pour graver uniformément des substrats de divers matériaux tels que le verre, le quartz, le silicium, l'alumine et d'autres céramiques. L'unité est particulièrement bien adaptée à la gravure et à la mise en oeuvre de dispositifs semi-conducteurs de haute précision et homogénéité. Doté d'un étage à trois axes et d'un grand diamètre de plaquettes allant de 200mm à 300mm, le graveur peut accueillir une grande variété de substrats. De plus, la plate-forme Telius 305 peut être personnalisée pour différents procédés tels que la gravure d'oxyde, la pulvérisation, la gravure plasma et la gravure en résistance profonde. La machine utilise un mode de fonctionnement à réflexion retardée et une impulsion d'effacement de faisceau pour assurer une intensité de faisceau uniforme et ainsi assurer une gravure uniforme des plaquettes. Il est doté d'une gravure à inclinaison variable et à jittering variable, ainsi que d'un hucking électrostatique variable. En outre, l'outil est équipé de capacités de régulation de température avancées pour assurer des taux de gravure précis. TEL Telius 305 DRM est conçu avec des capacités de contrôle de processus et d'acquisition de données pour assurer la répétabilité et l'exactitude des paramètres. L'actif peut stocker des recettes de processus et permet aux utilisateurs de stocker plusieurs recettes pour différentes applications de gravure, permettant une optimisation de processus facile. Le modèle utilise également un obturateur optique sans obturateur pour permettre une meilleure visibilité du procédé. L'équipement est très compact et nécessite un minimum d'espace d'installation. Sa conception robuste est associée à un système de contrôle numérique haute vitesse et des servomoteurs numériques haute performance, le rendant fiable et efficace. TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM est également conçu pour un entretien facile et une disponibilité élevée. Il offre également une grande vitesse et une capacité de haut débit. Dans l'ensemble, Telius 305 DRM est une unité de gravure avancée, fiable et efficace qui convient à la gravure de haute précision et uniforme de divers substrats. La conception robuste de l'etcher, les capacités avancées de contrôle de la température et les capacités de contrôle des processus et d'acquisition de données le rendent adapté à un large éventail d'applications.