Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293652091 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est une gravure avancée utilisée dans la fabrication de circuits intégrés. Il s'agit d'une machine SCCM (Substrate Charge Control Module) permettant un contrôle précis de la charge du substrat. Cette machine est utilisée dans le traitement de substrats jusqu'à 300mm de diamètre et son faible coût de pièce par dispositif semi-conducteur en fait la solution idéale pour les applications avancées de gravure asher. Les caractéristiques essentielles de TEL Telius 305 SCCM comprennent son contrôle de charge électrostatique avec polarisation réglable indépendamment sur chaque emplacement, un équipement automatisé de manutention des plaquettes, et sa capacité à traiter des substrats d'un diamètre allant jusqu'à 300mm. Cette machine est équipée de deux sources plasmas, d'une chambre de serrure et d'un vaste système de contrôle informatique. La chambre de serrure permet un échange facile des plaquettes sans nécessiter de temps d'arrêt important, et les sources de plasma permettent une gravure précise des substrats. De plus, les sources à double plasma sont conçues pour assurer une gravure uniforme du substrat. L'unité de contrôle informatique permet un contrôle précis des processus et un réglage des paramètres de gravure. TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est conçu pour des applications de haute performance et se distingue dans l'industrie des gravures asher. Il dispose d'un temps de gravure à grande vitesse de 5 minutes, et d'un débit allant jusqu'à 450 substrats par heure. Cette machine est capable de traiter des substrats jusqu'à 125 μ m d'épaisseur, et est précise à la fois dans la planéité de la plaquette et la mesure de la rondeur et est capable de gravure d'impulsions et de gravure de transfert d'ions. Les options pour les méthodes de gravure sont personnalisées en fonction du type de plaquette en cours de traitement. Telius 305 SCCM comprend plusieurs fonctions de sécurité, telles que le bouton d'arrêt d'urgence, les dispositifs de sécurité à deux niveaux et un interrupteur de sécurité. En outre, il dispose d'une machine d'alerte avancée qui est conçue pour détecter les irrégularités ou dommages éventuels lors du traitement du substrat et alerter l'opérateur. TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est un asher de gravure efficace et fiable qui offre des performances exceptionnelles pour la fabrication de circuits intégrés. Il est rentable pour tous les procédés de fabrication, et sa technologie sophistiquée assure la gravure de précision de la plupart des substrats.