Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293822433 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM
ID: 293822433
Dielectric etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est un graveur entièrement automatique (ou asher) conçu pour un processus de production à haut volume. Il s'agit d'un seul équipement de production de plaquettes capable de traiter jusqu'à 12 plaquettes par tranche, permettant une production efficace et flexible. Il s'agit d'un système de gravure à sec et utilise la technologie des sources de plasma stand-off pour déposer et graver des matériaux avec un degré élevé de précision et de précision. TEL Telius 305 SCCM est construit sur une robuste table à deux axes qui est capable de transporter des plaquettes jusqu'à 12 "de taille. Son convoyeur intégré autonome assure également un transport fiable des plaquettes, avec une large gamme de réglages de vitesse réglables disponibles. Un actionneur piézo à axe Z de haute précision est utilisé pour assurer un positionnement idéal et cohérent des plaquettes pendant le processus de gravure. La machine est équipée d'une technologie avancée de contrôle des processus en boucle fermée, qui permet un contrôle automatisé et précis des paramètres de traitement pour garantir les résultats de gravure les plus précis à chaque fois. La machine a la capacité de stocker jusqu'à 10 recettes pour des séquences de processus répétables, et est capable de graver différents matériaux dont le silicium, l'aluminium, le cuivre, et de nombreux autres métaux et alliages. L'etcher est doté d'un module de propreté et de sécurité entièrement automatisé comprenant un double outil de distribution de gaz pour la protection des gaz inertes pendant le transfert, ainsi qu'un actif de purge de l'azote pour assurer des résultats de gravure propres et sans particules à chaque fois. Il s'agit d'un modèle de gravure très polyvalent adapté à une variété de lignes de production et d'applications. TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est une solution de gravure efficace et fiable conçue pour répondre aux besoins de production de base, offrant une combinaison parfaite de flexibilité et de technologie de contrôle des processus pour une variété de procédés et de matériaux. C'est une machine très économique et polyvalente qui est idéale pour la gravure à haut volume et d'autres applications de production.
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