Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #9252316 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est un graveur à haute résolution couramment utilisé dans les industries des semi-conducteurs et des MEMS. Il est conçu pour graver ou asher un large éventail de substrats dont le silicium, les métaux et les polymères. Il offre une uniformité exceptionnelle de vitesse de gravure et une uniformité de profondeur de gravure jusqu'à 300 mm (12 "). Le graveur est équipé de fonctions réglables de contrôle de débit, ce qui lui permet d'ajuster la vitesse de gravure pour une plus grande élimination du matériau dans un laps de temps plus court. Il est équipé d'un ensemble d'électrodes multiples pour gravure et gravure ionique réactive (RIE). Cet graveur peut manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces (200 mm) de diamètre avec une profondeur allant jusqu'à 150 microns et est dimensionné pour fonctionner à des températures allant jusqu'à 175 ° C Il dispose également de fonctions réglables de distribution de gaz et de contrôle de pression, permettant une variété d'atmosphères ambiantes dont Oxygène, CF4, SF6, et l'air. De plus, TEL Telius 305 SCCM est équipé d'un système de contrôle numérique qui permet aux utilisateurs de sélectionner l'un des cinq paramètres de processus - vitesse de gravure, pression de la chambre, vitesse cible de gravure, température du substrat et débit de gaz - et de régler manuellement chacun à sa valeur désirée. TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est également livré avec un verrouillage de charge en option pour plus de débit et de stabilité. Ceci est particulièrement utile pour les procédés semi-conducteurs et MEMS qui nécessitent une plus grande stabilité de l'environnement de gravure. Le système de verrouillage de charge protège la plaquette de toute modification soudaine de la pression, de la température et des conditions atmosphériques. De plus, Telius 305 SCCM intègre des fonctions de surveillance automatisée de processus telles qu'un capteur de vide de processus en temps réel, un système de nettoyage à plasma RF et une station de traitement post-gravure. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM est un graveur/asher conçu pour répondre aux exigences d'un large éventail d'industries et d'applications. Tel Telius 305 SCCM offre aux utilisateurs un moyen fiable et efficace de graver les substrats de matériaux multiples grâce à un contrôle réglable du débit et de la distribution de gaz, à une surveillance des processus en temps réel et à un verrouillage de charge en option. Sa polyvalence, sa précision et sa conception conviviale en font un choix fiable pour tout besoin de gravure ou d'ashing.