Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #293593000 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin
ID: 293593000
Taille de la plaquette: 12"
Dry etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin est un graveur/asher qui peut être utilisé dans la production de semi-conducteurs et de panneaux plats. Il fonctionne en utilisant une alternative de pression et de température pour enlever des couches de matériau de la surface d'une pièce. Le Telius SCCM utilise une électrode pour éliminer le matériau comme réaction électrochimique. La réaction se produit entre les deux électrodes (la pièce et l'électrode montée) qui produisent des ions anodiques et cathodiques qui escortent le matériau non conducteur à la surface du substrat. Celui-ci est ensuite retiré du substrat. Ce type de gravure est connu sous le nom de « gravure sèche » parce que le processus est réalisé sans l'utilisation de produits chimiques de gravure ou de solvants. Le Telius SCCM est un équipement entièrement automatisé et offre un haut degré de précision et de répétabilité des processus. Il offre un contrôle de précision sur la surface de gravure, la profondeur et la rugosité de surface pour garantir les résultats de gravure de la plus haute qualité. Le système de verrouillage assure la sécurité et peut être programmé pour éviter des dommages au produit. L'Unité est capable de traiter une variété de matériaux (y compris le plastique, la céramique et les semi-conducteurs). Il peut également être utilisé pour des applications semi-conductrices telles que la double damascène, la gravure annulaire et la gravure de tranchées peu profondes (STI). Une grande précision de gravure peut être obtenue avec cette machine, et l'uniformité de la zone de gravure est obtenue avec très peu de variation de surface. Les résultats de la gravure sont exempts de résidus ou de contamination et peuvent permettre des rendements élevés. Le Telius SCCM est idéal pour la production de semi-conducteurs et de dispositifs d'affichage à écran plat où un degré élevé de précision et de répétabilité du processus est requis. L'outil est capable de réaliser des gravures très précises avec une faible variation de surface et avec un minimum de résidus de gravure ou de contamination. Cela en fait un excellent choix pour les procédés où un rendement et une qualité exceptionnels sont requis. La capacité haut de gamme du Telius SCCM le rend parfait pour les tâches les plus exigeantes.
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