Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9190591 à vendre en France
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ID: 9190591
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 12"
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin (un graveur/asher) est une machine de gravure très avancée conçue pour une production de plaquettes semi-conductrices de haute précision, à haut débit et efficace. Il est spécifiquement conçu pour des applications comme les appareils MEMS, CMOS, ASIC, et d'autres nécessitant des processus de gravure complexes. La machine dispose d'un moteur pas à pas et de la technologie de positionnement des broches en alliage pour des résultats très précis et reproductibles, en plus d'un équipement intégré de reconnaissance d'image pour la surveillance du flux de matériaux. Il est également équipé d'un système d'asservissement haute vitesse à 4 axes et d'une manutention automatisée des plaquettes pour une fabrication rapide et efficace. L'unité offre un contrôle précis des gaz de gravure, des motifs et des températures, permettant un contrôle de processus de haute fiabilité. Il dispose également d'une machine de commutation rapide de gaz intégrée pour minimiser les déchets de gaz, ainsi que d'un outil de contrôle de température en temps réel qui prévient les changements de température indésirables. L'actif est conçu pour la fabrication de plusieurs matériaux, dont le silicium, le quartz, le chrome et le tungstène. Il est également capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 pouces avec des tailles de lots allant jusqu'à 100 pièces. Avec son interface tactile intuitive et ses puissantes capacités logicielles, TEL Telius SCCM Shin est un choix idéal pour le prototypage et la production de volume massif de dispositifs semi-conducteurs.
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