Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9353062 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin est un graveur/asher utilisé pour le traitement de substrats semi-conducteurs. Il fait partie de la série de systèmes de gravure de haute précision Telius de TEL. Le SCCM Shin utilise la technologie de gravure par ions réactifs profonds (DRIE) pour graver des motifs sur des plaquettes avec une grande vitesse, précision et répétabilité. L'équipement est équipé d'un système de contrôle de processus entièrement intégré, permettant une variété de recettes de gravure précises. Le SCCM Shin est chargé d'une chambre capable de traiter des plaquettes de silicium de 8 ou 12 pouces, ainsi que de l'arséniure de gallium et des plaquettes de phosphure d'indium. Il est équipé d'une ou de deux sources régulières ICP (Inductively Coupled Plasma), ainsi que d'une deuxième option unique, le biais RF, pour un meilleur contrôle de gravure et une meilleure précision. L'unité dispose également d'une machine de rotation rapide des plaquettes pour augmenter sa vitesse de gravure, et d'une source de centrifugeuse ambiante pour rendre le processus DRIE plus efficace. Le SCCM Shin est très flexible et personnalisable. Il peut être intégré à une variété d'autres équipements, tels que des serrures de charge, des épuisements et une source de plasma à distance pour rationaliser davantage ses capacités de traitement. L'outil est également capable d'automatiser avec précision le suivi des échantillons et la manipulation des plaquettes. Dans sa chambre de procédé, le SCCM Shin utilise une combinaison unique de trois sources de gaz pour produire diverses recettes de gravure, y compris les procédés de gravure isotrope et anisotrope. Grâce à cette capacité, il est capable de graver avec précision des motifs sur des plaquettes avec une qualité et une précision inégalées. Le SCCM Shin est conçu pour maximiser l'efficacité et minimiser les déchets. Il intègre un actif d'échappement dédié pour réduire la consommation de gaz et augmenter le débit. En outre, son modèle de contrôle des processus est intégré avec des systèmes de surveillance intelligents et des systèmes de feedback pour garantir une performance et une répétabilité optimales. Dans l'ensemble, TEL Telius SCCM Shin est un graveur/asher puissant et fiable qui fournit une gravure précise des plaquettes avec des caractéristiques et des capacités exceptionnelles, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs.