Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293645275 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM
ID: 293645275
Style Vintage: 2006
Etcher SiO2 (3) Chambers Gas used: CF4, CHF3, C4F8, O2, Ar Missing parts: (3) Chillers (3) HV Power supplies (2) Upper matchers TAB 114-1/ IO2 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM est un graveur/asher multiplate-forme conçu pour fournir d'excellentes performances de débit pour une grande variété de processus de gravure. Ces procédés comprennent, entre autres, la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, le dépôt en couches minces (TFD), la gravure diélectrique et la gravure MEMS. TEL Telius SCCM utilise un design breveté unique pour produire une distribution de chambre parfaitement uniforme en utilisant un contrôleur principal et un équipement de positionnement de chambre basés sur une carte SCSI. Ceci permet de maintenir les températures de la chambre et les débits de gaz de manière régulée, ce qui permet une gravure de haute précision. TOKYO ELECTRON Telius SCCM dispose d'une vaste gamme de capacités, ce qui en fait un excellent choix pour les tâches de gravure routinières et complexes. Il offre une grande flexibilité en ce qui concerne la manutention du substrat, avec des rails de précision qui permettent de charger simultanément plusieurs substrats de différentes dimensions dans le système. La technologie multi-zones et les éléments chauffants Pyromicron de pointe garantissent des résultats de gravure constants et reproductibles sur différents substrats. La conception de la chambre de Telius SCCM est encore optimisée pour un débit maximum et des temps de récupération. Il dispose d'un accès à distance pour les tâches de diagnostic et d'entretien à distance, ce qui permet une optimisation même lorsque la chambre n'est pas physiquement accessible. En outre, il est livré avec un SIAS, un Sirius Interpreter Algorithm Unit qui permet à la machine de détecter et de régler rapidement les éventuels problèmes de surgravure ou de sous-gravure, assurant ainsi un contrôle fiable des processus. Combinées, ces caractéristiques permettent aux utilisateurs de TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM de bénéficier de performances de gravure de calibre mondial et d'une excellente précision, leur donnant la capacité d'atteindre rapidement les rendements des produits et la fiabilité de la production. C'est pourquoi TEL Telius SCCM est le dispositif préféré de beaucoup dans le secteur de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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