Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293830627 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM est un graveur/asher conçu pour répondre aux exigences strictes de la production de semi-conducteurs. Il dispose d'une variété de fonctionnalités avancées et de spécifications, ce qui en fait l'un des outils de gravure les plus fiables pour les applications de recherche et de production. TEL Telius SCCM etcher/asher est conçu pour le polissage chimique-mécanique (CMP) et la planarisation chimique mécanique (CMP). Ce graveur/asher est composé de trois composants de base : la chambre, qui comprend la boîte de procédé, l'équipement sous vide et le système de contrôle ; le pont de processus, qui contient le générateur RF, l'ensemble de distribution et la tête de processus ; et la boîte de procédé, qui contient le porte-plaquettes, la tête de traitement et l'élévateur de substrat. La chambre de TOKYO ELECTRON Telius SCCM est également équipée d'un certain nombre de fonctions avancées, y compris le contrôle de température de précision, la détection sous vide, et le fonctionnement à distance. La plage de température variable permet une optimisation répétable et fiable des processus. La chambre est également équipée d'un capteur haute résolution pour surveiller le processus en temps réel et effectuer les ajustements nécessaires. La plate-forme de traitement de Telius SCCM est alimentée par un générateur RF à haute tension triphasé et équipé d'un ensemble de distribution pour fournir un processus uniforme sur l'ensemble de la plaquette. La tête de processus est une unité multi-stations qui est capable de traiter jusqu'à 6 plaquettes à la fois. Il dispose d'une unité de positionnement de précision et d'une machine de soufflage d'air précise pour assurer des résultats cohérents et uniformes. L'élévateur de substrat est conçu pour faciliter le chargement, le transfert et le déchargement des plaquettes. La chambre de procédé de ce graveur-asher est également équipée d'un outil automatisé de transfert de plaquettes, conçu pour réduire les risques de contamination et améliorer le débit du procédé. En plus de permettre à la plaquette de se déplacer entre différents processus, l'actif de transfert peut être utilisé pour charger et décharger des matériaux de la chambre. La chambre est également équipée d'un dispositif d'auto-nettoyage, ce qui permet de s'assurer que la chambre est exempte de contamination. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher offre également un certain nombre de fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus. Il comprend une fonction d'analyse d'image cible intégrée qui peut être utilisée pour détecter des conditions de processus anormales. Un éditeur de séquences permet aux utilisateurs de définir des paramètres spéciaux et des séquences de processus, ce qui permet un meilleur contrôle sur les processus de gravure et de planarisation. Dans l'ensemble, TEL Telius SCCM etcher/asher est un excellent choix pour la production de semi-conducteurs et les applications de recherche. Il offre une grande variété de caractéristiques et de spécifications conçues pour répondre aux exigences de gravure les plus exigeantes et fournir des résultats cohérents et des performances fiables.