Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9230233 à vendre en France
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ID: 9230233
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
System, 12"
(3) Chambers
Missing parts
Spare parts:
HPK1021-TE2
(3) AGA-50D
(3) DGP-120A2
(3) PS3 RF Pump boxes
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher est une solution à un seul niveau de wafer conçue pour les processus liés aux semi-conducteurs - tels que la formation de cellules mémoire, l'alignement de cellules mémoire SOT, et les applications générales de processus semi-conducteurs. Ce dispositif fournit des processus de gravure efficaces et fiables avec de petites empreintes pour les besoins de production à petite et grande échelle. Il dispose d'outils de gravure avancés, de systèmes de surveillance des processus, et de recettes de processus avancées combinaisons pour le débit à haute vitesse et les résultats haute définition. Le dispositif est conçu pour le nivellement de la plaquette pour aligner facilement le bord de la plaquette et fournir une répétabilité exceptionnelle. Son moniteur de métrologie innovant mesure le processus de gravure sur chaque plaquette, vérifiant la précision de l'opération de gravure et aidant au contrôle du processus. En outre, des capacités d'évitement des erreurs en temps réel sont disponibles pour permettre l'optimisation des processus pour la productivité et le rendement les plus élevés. Les outils innovants d'automatisation des processus intégrés dans TEL Telius SCCM simplifient le processus de téléchargement des recettes et permettent aux opérateurs de configurer rapidement et facilement les opérations de gravure pour une productivité et un rendement élevés. Les fonctions avancées de contrôle et de surveillance des processus permettent aux utilisateurs d'ajuster les paramètres techniques en fonction des exigences de gravure particulières. En outre, TOKYO ELECTRON Telius SCCM fournit une interface graphique intuitive pour un fonctionnement facile et pratique. Le système intègre également des modules de charge haute performance à base de cassettes, offrant un environnement fiable et à haut débit. Sa conception compacte et économique permet d'intégrer les opérations de gravure dans une variété de lignes de production de plaquettes. Ce système de gravure permet aux fabricants de produits semi-conducteurs d'augmenter de façon rentable leur débit et de réduire les temps d'arrêt. Les systèmes de sécurité avancés de Telius SCCM surveillent et contrôlent l'environnement, éliminant ainsi les risques potentiels pour la sécurité. De plus, il fournit aux opérateurs des fonctions d'enregistrement et d'archivage des données pour améliorer le suivi des processus et faciliter la conformité réglementaire. Ses systèmes de suivi sont également conçus pour s'intégrer à un système d'information de gestion pour un suivi complet et une assurance qualité. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher est un appareil efficace et fiable pour les processus liés aux semi-conducteurs, offrant aux utilisateurs une productivité accrue et un avantage concurrentiel sur les marchés d'aujourd'hui sensibles aux coûts.
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