Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9281489 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM est un équipement de graveur/asher conçu pour le traitement de dispositifs semi-conducteurs. Il intègre une source de plasma, une chambre de procédé sous vide à plusieurs étapes et un système de contrôle de processus avec un moniteur de processus intégré à plusieurs étapes. L'unité produit un procédé de gravure ou d'asher de haute qualité pour un large éventail de matériaux et de procédés, offrant une excellente productivité et rendement. TEL Telius SCCM etcher/asher est conçu pour fonctionner dans la gamme de sous-microns à nano-mètres, avec une excellente uniformité, répétabilité et précision. Afin d'effectuer efficacement la gravure et le cendrage, la machine utilise une variété de technologies telles que les systèmes de contrôle du plasma, les capteurs de haute précision et les systèmes de balayage à grande vitesse. Le contrôle de la source de plasma permet à l'utilisateur de régler et de maintenir avec précision un profil de cylindre de gravure ou de cylindre asher optimal. Des capteurs de haute précision sont utilisés pour surveiller les conditions de processus en temps réel et fournir des retours pour améliorer la précision et la précision du traitement. Les systèmes de balayage rapide permettent de contrôler le processus à haute résolution en mesurant rapidement la largeur/profondeur gravée ou cendrée. L'outil offre une interface logicielle conviviale qui donne à l'utilisateur accès à toutes les fonctions de contrôle nécessaires. L'interface utilisateur intuitive facilite la création d'une gravure ou d'une recette asher en donnant un accès direct à tous les paramètres nécessaires. L'utilisateur peut facilement sélectionner une recette à partir d'un ensemble de recettes pré-programmées, ou facilement créer une recette personnalisée pour l'application souhaitée. La chambre à vide à plusieurs étapes de l'actif fournit un environnement scellé qui permet un processus cohérent et répétable sans avoir besoin d'entretien ou de nettoyage fréquent. Le modèle de transfert automatique de plaquettes assure un chargement et un déchargement précis de la plaquette pour une répétabilité efficace du processus. TOKYO ELECTRON Telius SCCM est un graveur/asher haute performance avec d'excellentes capacités d'interfaçage et de contrôle des processus. L'équipement est conçu pour offrir des performances supérieures à un coût de possession moindre, tout en offrant une fiabilité et une reproductibilité robustes.