Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293609250 à vendre en France

TEL Telius SP 305 DRC est un équipement de graveur/asher conçu pour un large éventail de procédés de semi-conducteurs tels que la gravure humide, la gravure à sec, le cendrage et les procédés de chenilles. C'est un système idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de circuits, l'assemblage microélectronique, l'emballage au niveau des plaquettes et la modification des dispositifs. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 graveur/asher utilise une technologie plasma haute densité qui est capable de produire des résultats de processus avec une excellente répétabilité et uniformité. Cette machine est très efficace, car elle peut effectuer des processus rapidement et facilement et peut accueillir de grands volumes de production. Il utilise une pompe à vide multi-étages pour garantir un excellent contrôle des procédures, tout en fournissant une source fiable de pression atmosphérique. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 etcher/asher est équipé de diverses sources de gravure et de cendrage, telles que le plasma à couplage inductif (ICP), le spectromètre de masse de réaction en champ extérieur (EFRS), le plasma induit par micro-ondes (MIP) et les sources de résonance électro-cyclotron (ECR). L'actif est optimisé pour les chambres de processus à faible volume, offrant des tolérances de processus très serrées nécessaires pour une production à haut rendement. Il dispose également d'une grande chambre d'analyse pour des travaux de faible volume et de haute précision. TEL Telius SP 305 dispose d'un contrôleur programmable capable de stocker jusqu'à 99 recettes de processus. Le bras de chargement automatique garantit que tous les paramètres du processus, tels que le débit de gaz, la pression, la fréquence RF et le temps de traitement, peuvent être contrôlés avec précision et précision. Ce contrôleur avancé permet aux utilisateurs d'accéder facilement aux différents programmes de processus. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 est également livré avec une variété d'accessoires, tels qu'un lecteur à fréquence variable et un modèle de mesure de champ mag. Le lecteur de fréquence variable permet aux utilisateurs de modifier la recette du processus en fonction des exigences spécifiques, tandis que l'équipement de mesure de champ mag permet aux utilisateurs d'optimiser le processus pour produire des produits de haut rendement et de qualité. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 fournit un excellent système de graveur/asher avec des caractéristiques et des capacités uniques, lui permettant d'accueillir une gamme de processus à haute résolution. Cette unité de graveur/asher flexible et facile à utiliser permet un contrôle précis et reproductible des processus et des rendements améliorés avec une intervention minimale de l'opérateur.