Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293659302 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM Etcher/Asher est un outil de gravure et d'ashing haute performance conçu pour une grande variété de substrats de plaquettes semi-conductrices, y compris le silicium, SiGe, Arsenide de Gallium et Saphire. L'équipement supporte à la fois la gravure/cendrage humide et sèche, avec une technologie avancée de graveurs et de cendres de pointe permettant une gravure/cendrage précise pour le dépôt de film haut de gamme. Le Telius SP 305 offre une gravure/cendrage de haute précision, une linéarité et une uniformité qui permettent des performances de processus cohérentes. Le Telius SP 305 fournit un système de contrôle de processus de gravure/cueillette « intelligent » avancé qui permet la gravure/cueillette la plus précise, cohérente et efficace dans le temps dans l'industrie. Le Telius SP 305 permet des fonctionnalités supplémentaires telles que le traitement de surface de sous-microns, le balayage à grande vitesse du plan de focalisation, la gravure/l'ashing à travers les masques et les capacités d'imagerie numérique. Le Telius SP 305 comprend également une unité de sécurité complète avec interlock, surveillance de l'érosion et protection contre le flux inverse. La machine est conforme aux normes SEMI et ESD Semiconductor Safety, garantissant la sécurité et la fiabilité de l'outil. Cela permet de minimiser les temps d'arrêt et de maximiser la productivité car il permet de récupérer rapidement de toute mauvaise gravure/cendres, des effets semi-permanents et des déversements de processus. L'actif dispose d'une interface graphique intuitive qui fournit un accès facile aux fonctionnalités du programme et aux informations du modèle automatisé. La compatibilité I/O-performance est basée sur le matériel et le logiciel PC standard. La technologie « Smart Etching/Ashing » permet de créer un programme de gravure/ashing personnalisé et de l'enregistrer sur l'appareil pour l'enregistrement des données à long terme et la gestion des recettes. Les recettes intégrées permettent une gravure/cueillette optimale dans les plus brefs délais. De plus, le Telius SP 305 est compatible avec les chambres standard de l'industrie et permet la capture de données en temps réel, assurant la traçabilité des processus et l'analyse des données. Le Telius SP 305 etcher/asher est idéal pour une utilisation dans la recherche et le développement de la fabrication de structures ultra-fines pour une large gamme de dispositifs microélectroniques. Dans l'ensemble, TEL Telius SP 305 DRM Etcher/Asher est un appareil de gravure/cueillette sophistiqué qui offre les meilleures performances pour une large gamme de matériaux semi-conducteurs. Il est livré avec un équipement de contrôle de gravure/ashing avancé et des caractéristiques de sécurité qui aident à maximiser l'efficacité et minimiser les temps d'arrêt. Avec son interface graphique intuitive et sa compatibilité avec les chambres standard de l'industrie, le Telius SP 305 etcher/asher est la solution avancée de gravure/ashing pour toute fabrication de dispositifs microélectroniques.