Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #9397049 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM
ID: 9397049
Etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM est une gravure haute performance qui est spécialement conçue pour la précision des exigences de processus lithographiques. C'est une gravure/cendrier avancée qui dispose d'une chambre de précision pour une plus grande précision pendant le processus de gravure/cendres. La machine utilise trois sources d'énergie RF indépendantes pour fournir une flexibilité maximale pour différentes exigences de gravure et de pulvérisation combinée à un système efficace d'épandage de douche à gaz. La taille de la chambre TEL Telius SP 305 DRM mesure 1,3m de large x 1,4m de long x 0,37 m de profondeur et a une capacité de fonctionnement de 50 litres. La pression à l'intérieur de la chambre varie de 0 à 400 torr et peut être réglée en 1 pas Torr. La température du procédé varie de -100 à 700 degrés C avec une répétabilité de +/- 0,1 degré C. L'homogénéité de cette machine est excellente, permettant une gravure de haute précision des tailles de caractéristiques aussi faibles que 6 microns. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM dispose également d'une température de sonde kelvin et d'une option de sélection de polarisation DC pour un contrôle accru des processus. Pour que le procédé souhaité soit réalisé, la chambre de la gravure-cendrier doit être correctement préparée. Ce processus commence par le nettoyage des parois de la chambre en utilisant un système avancé de nettoyage de l'abrasion qui élimine toute accumulation de matériaux précédemment utilisés. La chambre est ensuite pompée et rechargée avec le gaz de procédé approprié. Cette chambre est ensuite fermée de façon étanche pour atteindre des niveaux d'ultra-vide (UHV) avant d'être chauffée à la température désirée. La température de la chambre est constamment surveillée et ajustée par un thermocouple avancé intégré dans la paroi de la chambre. Telius SP 305 DRM est capable de réaliser des processus de gravure humide et sèche ainsi que des applications de pulvérisation. Les différents niveaux de pression et de débit de gaz, ainsi que diverses combinaisons de sources d'énergie RF permettent à cet graveur d'obtenir une gravure de précision avec des rendements plus élevés et des temps de cycle améliorés. Diverses techniques d'analyse peuvent également être utilisées pour suivre l'avancement des processus de gravure et de pulvérisation. Bref, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM est une gravure/asher avancée avec une grande précision et répétabilité. Ses caractéristiques permettent des usages multiples et son contrôle précis de la chambre et de la température fournit des rendements améliorés et des temps de cycle plus courts.
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