Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9282473 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE est un module qui intègre une technologie de pointe pour contrôler les processus de gravure chimique et de cendrage. Comme graveur/asher, TEL Telius SP 305 SCCM TE est conçu pour assurer un contrôle précis des activités de gravure, de cendrage et de nettoyage des substrats. Construit avec une architecture d'équipement flexible, le TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE offre un contrôle supérieur sur la gravure en courant continu (DCE) et les processus de gravure en courant alternatif (ACE). Il est capable d'exécuter les deux processus à l'unisson, permettant un contrôle optimal sur l'uniformité et le rendement des gravures. Telius SP 305 SCCM TE comprend une interface de contrôle de deux mois avec la communication automatisée du système qui simplifie la configuration et l'utilisation de l'etcher/asher. Cette unité de contrôle est couplée avec la surveillance intégrée et l'enregistrement des données, qui lit les variables de gravure telles que la température, la pression et le courant en temps réel. Il est également capable de choisir les bonnes recettes pour le traitement des matériaux et est programmé avec contrôle numérique des bords pour optimiser l'uniformité des processus. La conception etcher/asher de TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE est capable de gravure sandvikadiabatic (SAE). Il a la capacité de maximiser le rapport d'aspect en gravure de rapport d'aspect profond élevé avec un temps de refroidissement réduit. Ce dispositif offre également des capacités de gravure à des températures allant jusqu'à 150℃ ainsi qu'une gravure anisotrope à température contrôlée (TCAE) afin de contrôler la sous-coupe ou le creusement. TEL Telius SP 305 SCCM TE est livré avec une variété de recettes de gravure pré-programmées qui permettent aux utilisateurs de réaliser des structures complexes avec un ajustement minimal. Il est également conçu avec une machine de sécurité avancée pour protéger les utilisateurs de tout contact avec l'graveur et assure la surveillance de l'activité afin de minimiser les anomalies de gravure et d'ashing. Ces attributs uniques se combinent pour faire de TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE l'un des graveurs/cendres les plus avancés sur le marché. En offrant un contrôle supérieur sur le processus de gravure/cendres, l'utilisateur peut être assuré d'un contrôle cohérent et répétable du processus qui se traduit par des rendements plus élevés et une meilleure qualité du produit.