Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666983 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM
ID: 293666983
Dielectric etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM est un graveur/asher multi-chambres conçu pour répondre aux besoins de l'industrie actuelle des semi-conducteurs et de la microélectronique. Il est conçu pour offrir des procédés de haute précision et des taux de gravure au soufre optimaux afin de contrôler avec précision la hauteur des films minces. Le SP 305 SCCM utilise une technologie avancée d'autofocus, un temps de balayage rapide de 0,25 seconde et un moniteur de résistivité résiduelle faible pour maintenir les résultats de la plus haute qualité. Le SP 305 SCCM est conçu pour le chargement et le déchargement rapide et efficace des lots, ce qui contribue à améliorer le débit. Il dispose de plusieurs chambres pour la gravure simultanée du soufre et résister à la cendre, ce qui réduit le temps de cycle de la chambre, améliore les rendements et réduit les temps d'arrêt. L'équipement facile à utiliser assure un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette, permettant à l'utilisateur de personnaliser les recettes selon les besoins individuels. TEL Telius SP 305 SCCM est équipé d'une interface utilisateur intuitive et graphique qui permet à l'opérateur de suivre les performances de l'outil et les conditions de traitement tout en offrant de puissantes recettes de processus et des diagnostics pour faciliter le dépannage. Le système est également équipé d'une puissante unité de contrôle permettant aux utilisateurs de surveiller avec précision les conditions du processus afin d'optimiser les performances. La machine est soutenue par TEL réseau de professionnels de service et de soutien, fournissant un haut niveau de fiabilité et un minimum de temps d'arrêt. Le SP305-SCCM est adapté à une grande variété de procédés de gravure et de cueillette, y compris l'anodisation, la gravure du cuivre et la gravure de l'aluminium. Il comprend également une puissante technologie de traitement numérique du signal (DSP) qui aide à améliorer le contrôle de la hauteur des films et peut être utilisé pour le cendrage efficace et précis des couches minces de résines. En plus, l'outil est optimisé pour l'utilisation avec l'ÉLECTRON DE TOKYO avancé OxideSense s'opposent à l'actif ashing qui tient compte de la commande du processus de haute qualité et repeatable. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM combine technologie de pointe avec la conception conviviale et les contrôles intuitifs. C'est un modèle robuste et fiable qui permet aux utilisateurs d'obtenir d'excellents résultats de gravure de précision avec la plus grande précision.
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