Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #293666984 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM est un graveur et asher conçu pour la production de composants semi-conducteurs avancés et complexes. Il fournit des capacités de gravure et de cendrage de précision dans une solution très efficace et rentable. TEL Telius SP 305 SCCM est construit sur une plate-forme modulaire pour accueillir une variété d'applications et comprend un choix d'options installables sur le terrain pour permettre la personnalisation pour un besoin de processus spécifique. Sa gravure et son ashing de haute précision sont réalisés grâce à des flux de gaz précis et répétables, un contrôle direct des niveaux de pression et une pressurisation précise des chambres de gravure et d'ashing. En conséquence, le graveur/asher assure des résultats de processus cohérents qui peuvent être répétés dans le temps. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM est un équipement autonome équipé d'un ensemble d'automatisation sophistiqué qui permet la mise en place de processus avancés et la surveillance constante des processus. Son interface utilisateur intuitive aide les opérateurs à surveiller le système pour garantir des performances cohérentes et fiables. L'unité est également capable de surveiller, de réguler et de contrôler les niveaux de pression pour optimiser la vitesse de gravure et minimiser tout risque d'endommagement des plaquettes expédiées. Telius SP 305 SCCM est construit sur une plate-forme d'architecture ouverte, qui permet une intégration facile avec d'autres systèmes de production pour un meilleur contrôle et une meilleure gestion des processus. L'électronique et le logiciel de pointe de la machine permettent un contrôle précis de la température, garantissant des résultats constants et reproductibles, quelles que soient les conditions environnementales. L'etcher/asher est livré avec un large choix de gaz de procédé, qui permettent une variété de combinaisons de processus. Il peut également supporter une gamme de types d'atmosphère, y compris les lots et le plasma, pour plus de flexibilité et de contrôle. Il est capable de manipuler jusqu'à 200mm de plaquettes avec une taille maximale de plaquettes jusqu'à 300mm. L'outil peut accueillir jusqu'à deux chambres de transfert pour une capacité de processus unique et parallèle. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM etcher/asher fournit une solution robuste et fiable pour la fabrication de composants semi-conducteurs avancés avec des résultats de gravure et de cendrage supérieurs. Ses capacités d'automatisation avancées, sa conception flexible et ses fonctions avancées de contrôle des processus le rendent adapté à la fabrication d'appareils avec de nombreuses couches et géométries complexes.