Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #116765 à vendre en France
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ID: 116765
Deep trench silicon etchers
(4) Chambers (SCCM)
Load locker modules
Capacitively coupled module chambers (SCCM)
(5) Loader ports FOUP, 12"
Dual frequency source: 40 MHz and 3.2 MHz (GEW3040 and NOVA50A)
ESD Chuck
Temperature control
Aluminum alloy chamber
Material: Aluminum alloy (A6061)
Surface finishing: Hard sulfuric acid anodizing
RF Application method: Upper RF to lower electrode
Discharge method: SCCM Type
Temperature control:
Upper electrode: Temperature control by heater and cooling water
Lower electrode: Temperature control by circulating coolant
Side wall: Temperature control by heater
Shield ring
Pressure monitor
Lower electrode: Ceramics electro static chuck
Thermometer in lower electrode
Wafer holding method: Electrostatic chuck (φ300) mechanism
Focus ring: Qz
Exhaust plate: Aluminum alloy with hard sulfuric acid anodizing
Insulation ring: QUARTZ Cover / Aluminum alloy (A6061) with hard sulfuric acid anodizing
Distance between electrodes: 30~35 mm
Magnet:
Intensity:170 G (center)
Rotation: 20±1 RPM
He B.P Unit: Cooling gas for wafer back
Pressure switch: PCV (STEC)
Number of line / Control range of pressure:
(2) lines (Center / Edge): 0~7980 Pa (0~60 Torr)
Leakage monitor
Detection of valve open / Close: Valve on / Off sensor
SE2000 Endpoint detection
Window: Orifice (QUARTZ)
Deposition shield:
Material: QUARTZ
Shutter:
Plate: Aluminum alloy with hard sulfuric acid anodizing
Air cylinder drive
Final valve: Diaphragm type
APC
Manifold: Aluminum alloy with hard sulfuric acid anodizing
Chemratz O-ring for chamber
Ultimate vacuum: 0.0133 Pa (7.5 x 10-2 mTorr) / Less
Leak back: 0.133 Pa/min (1 mTorr / min) / Less
2005-2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS est un graveur/asher avancé conçu pour être utilisé dans les procédés de dépôt en couches minces (TFD). Cet graveur est capable de gravure et de cueillette précises et répétables de surfaces optiques. TEL Telius SP 308QS est équipé de caractéristiques qui fournissent des résultats reproductibles avec un haut degré de précision sur une gamme de types de matériaux. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS est équipé d'un haut de gamme, haute densité collimaté Beam Array Results. On assure ainsi une répartition précise de l'énergie des faisceaux pour une gravure et une cueillette précises. Les résultats du réseau de faisceaux peuvent être configurés pour des types de matériaux spécifiques, augmentant ainsi la répétabilité des gravures et la stabilité des cendres. Telius SP 308QS dispose également de systèmes de contrôle temporel du faisceau. Cela permet à l'utilisateur de contrôler la vitesse de gravure et de cueillette, ce qui leur permet de personnaliser leur processus pour atteindre le résultat souhaité. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS dispose d'une fonction programmable de régulation de température qui permet à l'utilisateur de sélectionner un profil de température désiré pour les processus de gravure et de cueillette. Le contrôle de la température peut alors être affiné pour obtenir les meilleurs résultats possibles. TEL Telius SP 308QS dispose également d'un système de communication avancé qui lui permet d'être facilement intégré aux processus de production existants. Cela permet à l'utilisateur de relier l'etcher/asher à sa ligne de production et de suivre l'avancement de son processus. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS dispose également d'un système de contrôle de production polyvalent. Cela permet à l'utilisateur de définir une variété de paramètres pour assurer la précision de son processus. Cela inclut la possibilité de définir des paramètres de gravure et de cendrage pour différents types de matériaux, choisir entre une température constante ou un chauffage pulsé, activer les cycles de nettoyage, l'arrêt automatique, et plus encore. Telius SP 308QS est un graveur/asher puissant et avancé conçu pour traiter un large éventail de processus TDD. Il est fiable, précis et contrôlable pour des résultats de haute précision. L'interface conviviale permet à l'utilisateur de configurer et de surveiller facilement le processus de gravure et d'ashing, garantissant des résultats cohérents et reproductibles.
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