Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9213296 à vendre en France
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ID: 9213296
Deep trench silicon etchers
12" FOUP
(4) Chambers (SCCM)
(5) Loader ports
Load locker modules
GEW3040 and NOVA50A 40MHz and 3.2MHz dual frequency source
ESD Chuck
Temperature control
RF Application method
Process: 80um deep 90nm wide via silicon etch
Chamber:
Aluminum alloy chamber
Material: Aluminum alloy (A6061)
Surface finishing: Hard sulfuric acid anodizing
RF Application method: Apply upper RF to lower electrode
Discharge method: SCCM Type
Temperature control:
Upper electrode: Temperature control by heater and cooling water
Lower electrode: Temperature control by circulating coolant
Side wall: Temperature control by heater
Upper electrode:
Quartz cover or aluminum alloy (A6061) with hard sulfuric acid anodizing
Shield ring
Lower electrode:
Ceramics electro static chuck
Thermometer
Wafer holding method: Electrostatic chuck(φ300) mechanism
Lifter: Resin
Focus ring: Qz
Exhaust plate: Aluminum alloy with hard sulfuric acid anodizing
Insulation ring: Quartz cover or aluminum alloy (A6061) with hard sulfuric acid anodizing
Distance between electrodes: 30~35 mm
Magnet:
Intensity: 170G (center)
Rotation: 20± 1rpm
Pressure monitor: (3) Types
He B.P unit: Cooling gas for wafer back
Pressure switch: PCV (STEC)
Number of line: (2) Lines
Control range of pressure:
(Center / Edge): 0~7980Pa(0~60Torr)
He monitor: Leakage monitor
Detection of valve open / close: Valve ON/OFF sensor
End point detection: SE2000
Confirmation of luminescence
Window: Orifice (Quartz)
Deposition shield: Removable depo-shield
Material: Quartz
Shutter:
Plate: Aluminium alloy with hard sulfuric anodizing
Drive: Air cylinder
Final valve: Diaphragm type mega-one (Fujikin)
Manifold: Aluminium alloy with hard sulfuric anodizing
O-ring for chamber: Chemratz
Specifications for performance:
Ultimate vacuum: 0.0133 Pa (7.5*10-2 mTorr) or less
Leak back: 0.133 Pa/min (1 mTorr/min) or less
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS est un graveur/asher de haute précision conçu pour permettre un contrôle précis de l'épaisseur du film et un traitement rapide du substrat. La machine utilise une variété de technologies avancées pour obtenir des résultats de haute qualité tout en fournissant des vitesses de débit remarquables. TEL Telius SP 308QS dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive qui rend le processus de gravure simple et simple. La chambre de gravure est conçue avec flexibilité et ergonomie à l'esprit, et convient à une variété d'applications de gravure. Il dispose d'un équipement avancé d'interférométrie à quatre laser pour le contrôle précis de l'épaisseur du film. Ce système est capable de mesurer et de mesurer des épaisseurs de film de 0,2 nm à 70 mm. Il dispose également d'un mode i-LINE automatique pour une gravure de haute précision avec un simple fonctionnement à un bouton. L'unité est livrée avec un éditeur de motifs graphiques qui vous permet de modifier facilement les motifs de gravure pour les exigences avancées de l'application. Le procédé de gravure est réalisé dans une chambre de gravure à ultra-vide thermiquement contrôlée. Cette chambre à vide est capable d'atteindre des niveaux de vide allant jusqu'à 10-7 Torr. Il dispose d'une fonction d'auto-optimisation qui peut être utilisée pour ajuster automatiquement les conditions de gravure pour obtenir des taux de gravure plus élevés et une plus faible sélectivité de gravure. La fonction d'auto-optimisation peut également être utilisée pour affiner les conditions de gravure pour un contrôle de processus plus précis. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS est équipé de fonctions avancées de surveillance des processus et d'enregistrement des données qui permettent l'analyse du rendement des processus. Il dispose d'un moniteur ionique de haute précision qui assure un processus de gravure cohérent et répétable. L'etcher dispose également d'une unité de traitement graphique avancée, qui permet des performances plus élevées pendant le débit, tout en fournissant une sortie de données de haute qualité. Telius SP 308QS est une machine de gravure très avancée qui fournit des résultats de gravure fiables et reproductibles avec des vitesses de débit remarquables. Sa conception innovante et ses technologies de pointe en font une solution idéale pour une variété d'applications de gravure.
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