Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267845 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS est un graveur/asher conçu pour les procédés de production avancés. Il est adapté pour l'application de la mémoire et de l'appareil logique dans une large gamme de technologies de processus de 3xnm et en dessous. L'etcher/asher utilise un guide d'ondes à quartz double fréquence (DFQ) qui délivre des énergies plus élevées pour un plus large éventail d'applications. TEL Telius SP 308QS dispose d'une conception de chambre avancée qui fournit une excellente uniformité de processus et de débit. L'équipement est conçu avec un mandrin électrostatique en chambre qui permet un contact sécurisé entre plaquettes et plaquettes au sol, un nettoyage minutieux des plaquettes et un profil de gravure lisse. De plus, cette plaque de position quad présente une taille de plaquette différente dans le même temps, ce qui améliore le débit et la flexibilité. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS utilise une construction étanche au vide avec un couvercle automatique ouvert/fermé et des options de capture Cryo-Vésicle. Il est également équipé d'un système d'obturateur multicouche qui fonctionne en tandem avec l'unité de contrôle de processus PBrF. Cette machine offre un excellent contrôle des propriétés des produits et contribue à maintenir un rendement constant entre les différentes couches de processus et les plaquettes. Telius SP 308QS etcher/asher offre également une gamme de fonctions de maintenance et de sécurité avancées. Cela comprend un outil de prévention de la panne de couteau à air et des moyens de prévention des gaz d'échappement chimiques pour améliorer la fiabilité, ainsi que des systèmes de protection monobloc et des bras robotisés pour améliorer la sécurité. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS etcher/asher est conçu pour une haute efficacité, précision, et des performances fiables, ce qui le rend idéal pour les processus de gravure et de cendrage haut de gamme. Il offre un excellent contrôle, uniformité et flexibilité, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats reproductibles et fiables pour leurs processus de production.