Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267846 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS etcher/asher est conçu et fabriqué par TEL (TOKYO ELECTRON) pour une utilisation en laboratoire automatique dans la fabrication optimisée de semi-conducteurs et la fabrication de dispositifs. Ce graveur/asher puissant et avancé offre des capacités au-delà du processus traditionnel de gravure sèche avec une précision, un contrôle et une efficacité améliorés. TEL Telius SP 308QS est un outil par lots avec une capacité de 8 pouces simple plaquette utilisant une chambre ECR (recherche de table conforme gravure en plus du processus de gravure ISO-Dry). Il est équipé d'un générateur RF, d'un contrôleur de débit massique et d'un contrôleur d'équipement. La chambre de graveur dispose d'un système de serrage pour sécuriser étroitement une plaquette de procédé en place pendant la gravure. Cette chambre est capable de fournir une atmosphère optimale avec une répartition de flux uniforme pour une génération de plasma uniforme, une gravure conforme améliorée et une gravure cryogénique améliorée avec une répétabilité améliorée. Le SP 308QS offre des processus de gravure productifs pour la gravure ionique et non ionique. La chambre ECR est idéale pour la surveillance de l'épaisseur des plaquettes, en utilisant un générateur RF pour surveiller le processus de gravure afin d'assurer une gravure uniforme. Il supporte également la gravure électrochimique, la gravure chimique en phase vapeur et la gravure ionique réactive (RIE). Le SP 308QS est conçu pour maximiser l'uniformité, la répétabilité et la précision à chaque étape du processus. En tant que tel, il est capable de fonctionner en mode basse pression et basse puissance pour fournir une plus grande précision. Les capacités de contrôle supérieures du SP 308QS offrent une gravure uniforme répétable des plaquettes. L'unité dispose également d'une option de précision d'alignement élevée, ce qui améliore la précision de la gravure du métal et du poly-silicium dans de petits espaces. D'autres fonctionnalités du SP 308QS comprennent un temps de maintenance réduit, des paramètres précis et une interface conviviale. En outre, la machine est très compatible avec les logiciels d'intégration de processus populaires tels que Servel II de Cimquest et d'autres logiciels de gestion de processus liés à Cimquest. Le SP 308QS dispose également d'une capacité complète d'automatisation des outils et dispose d'une interface utilisateur d'écran tactile innovante. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS etcher/aser offre des performances optimisées pour le traitement des semi-conducteurs par lots, permettant la production de petites plaquettes. Avec ses fonctions de contrôle supérieures, ses technologies ECR avancées et ses opérations efficaces, le SP 308QS etcher/asher est le choix idéal pour une gamme de projets de recherche et de développement sur des applications auto-lab.