Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267847 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS est un Asher à film sec puissant et fiable conçu pour les applications les plus exigeantes en fabrication de semi-conducteurs et d'électronique. Cet équipement performant est capable de fournir une gravure de précision de grands et petits substrats, y compris DRAM, mémoire Flash, FRAM, SRAM, EPROM et EEPROM. Ce graveur/asher utilise la technologie à double faisceau pour obtenir une gravure uniforme tout au long du programme. Il comprend une colonne de faisceau optique (OBC) pour définir un masque de paramètre de gravure pour chacune des étapes de gravure, une plaque de charge qui stocke cet ensemble d'instructions OBC, et une caméra d'alignement de faisceau pour assurer un alignement optimal du faisceau. Le système abrite une table de mouvement ultra-précise, et les deux têtes de gravure peuvent être ajustées indépendamment pour une précision maximale. L'unité unidirectionnelle de livraison de gaz de TEL Telius SP 308QS assure des résultats de gravure uniformes. Il est équipé de pressions de gaz réglables, de débits et d'une machine de sélection de gaz avec une sélection de N2, C2H2 et O2. Il comprend une grande variété de masques de gravure pour créer une large gamme de motifs de gravure, ainsi qu'un sous-contrôle de la température et de l'oxygène pour garantir la cohérence des résultats de gravure. TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS obtient une vitesse de gravure extrêmement élevée avec une excellente linéarité, avec une capacité de résolution allant jusqu'à 1 micron de largeur et de profondeur. Il offre également une vitesse de gravure uniforme sur une large gamme de tailles de plaquettes et de substrats. L'actif est capable de graver des surfaces complexes avec une haute définition et précision, tout en maintenant un taux de gravure constant de 0,0005 à 0,002 µm/min. Telius SP 308QS est conçu pour une maintenance facile, et est livré avec un logiciel de contrôle convivial et dédié avec des capacités avancées de gestion d'alarme, de gestion de données et d'analyse. Il dispose également d'une interface graphique, d'une connectivité réseau standard, d'un accès à distance via le contrôle Internet et d'un modèle de sécurité avancé avec protection par mot de passe interne. L'équipement est livré avec une large gamme d'accessoires de conception ergonomique pour un traitement personnalisé et à haut rendement.