Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT #9204771 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT est un graveur/asher de planarisation chimique en carbure de silicium (SCCM). Le SCCM est un procédé de perturbation de précision d'un substrat utilisant une combinaison de gravure chimique, de polissage mécanique, d'inondation répétée et d'élimination du lisier pour obtenir une surface désirée et la planarisation. TEL Telius SP SCCM DT fournit une solution pour les fabricants et les ingénieurs qui ont besoin de planter des matériaux dans des résolutions de niveau nanométrique. TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT est conçu avec des tailles de chambres multiples pour accueillir une variété de substrats, y compris des plaquettes de silicium, des semi-conducteurs composés, du verre, et des diélectriques bas-k. Grâce à sa capacité de manipulation de substrat à large gamme, Telius SP SCCM DT est le choix optimal pour une variété de processus de gravure et de planage. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT utilise une conception avancée d'entraînement direct avec une turbomachine combinée à un mandrin d'entraînement direct multi-axes pour assurer un alignement précis, une uniformité de charge et des résultats finaux reproductibles. TEL Telius SP SCCM DT propose un procédé de gravure haute performance en trois étapes. Au cours de la première étape, une boue contenant des particules abrasives est utilisée pour éliminer des caractéristiques de surface, telles que des dépressions et des étapes provoquées par des traitements préalables. La deuxième étape utilise la gravure chimique pour graver sélectivement des zones prédéterminées, telles que des tranchées ou des canaux, et prépare la surface pour l'étape suivante de planarisation. Lors de la troisième étape, un lisier non abrasif est utilisé pour lisser les caractéristiques de surface et créer une surface plane. En plus de son processus de gravure efficace, TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT dispose également d'un équipement de surveillance et de contrôle avancé. Le système fournit une rétroaction en temps réel sur les paramètres de fonctionnement et permet de suivre le processus statistique du début à la fin. En outre, Telius SP SCCM DT comprend de nombreuses caractéristiques de sécurité et de protection de l'environnement, telles que la ventilation active, les contrôleurs de gaz en cascade et un obturateur de sécurité à deux étages. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT est une machine de gravure et de planage fiable et performante qui offre aux utilisateurs une solution de gravure et de planage efficace et fiable. Idéal pour une variété d'applications, TEL Telius SP SCCM DT est conçu pour la précision, l'efficacité et la fiabilité.