Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293634370 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher à la pointe de la technologie qui offre un meilleur contrôle des procédés, une capacité sans pilote et une flexibilité accrue. Adapté aux applications de traitement au niveau des plaquettes, l'équipement dispose d'une haute sélectivité de gravure, avec des processus de gravure profonds, une gravure rapide assistée chimiquement, et des processus de gravure et sputter arrière. Son interface conviviale et ses débits supérieurs offrent un haut niveau de performance pour un large éventail d'applications. Le système TEL Telius SP est équipé d'étages de plaquettes laser de précision, d'une unité sophistiquée de surveillance des plaquettes et d'un contrôle avancé des processus. Sa conception permet des processus très fiables, reproductibles et une grande précision de gravure grâce à sa grande répétabilité et sa vitesse de positionnement maximale. Non seulement il est capable d'inspection vidéo laser arrière de la plaquette et de processus d'étiquetage automatique, mais il peut également effectuer le contrôle automatique du temps arrière et de la température ainsi que l'alignement en boucle fermée. Les procédés de pulvérisation et de gravure latéraux peuvent être effectués en une seule fois sur TOKYO ELECTRON Telius SP. Le processus est accéléré par ses systèmes spéciaux de contrôle des gaz et ses procédés de pulvérisation et de gravure tout à fait automatisés, y compris le nettoyage. La machine est également équipée d'une machine à gaz inerte intégrée et dispose d'une chambre de cassure et de capacités de ventilation pour assurer une protection maximale de l'environnement de la chambre. Le mécanisme de distribution de la plaquette laser sur Telius SP utilise une navette à micro-ordinateur pour assurer un transfert fiable des plaquettes. Ce processus offre une répétabilité, une précision et une fiabilité supérieures pour les processus à long terme. L'outil a une interface de productivité élevée et des fonctions automatisées comme l'achèvement automatique pour minimiser l'entrée des utilisateurs et minimiser les erreurs. Le support de taille universelle de plaquettes permet le traitement efficace de différentes tailles de plaquettes, de 8 pouces à 200 mm. L'actif supporte également une variété de différents substrats de procédé, y compris l'oxyde de silicium et le polyimide, en plus des matériaux de substrat communs tels que le verre, le quartz et la silice fondue. En résumé, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher avancé qui offre un excellent contrôle des processus, une productivité supérieure et des capacités de processus flexibles. Le modèle comprend des étages de plaquettes à base de laser, une inspection vidéo des plaquettes, une gravure et une pulvérisation automatiques et un support universel de plaquettes, qui offrent une répétabilité, une précision et une fiabilité supérieures sur une gamme de tailles de plaquettes et de substrats de processus.