Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293657406 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est une machine de gravure et de cendrage de pointe utilisée dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il fournit une gravure fiable et à haut débit des fonctionnalités de processus avancées avec une précision et un contrôle inégalés. La machine est capable de produire des résultats cohérents à différentes températures et niveaux de débit. TEL Telius SP dispose d'une source de gravure gazeuse avancée qui assure l'uniformité de la gravure à différentes températures. Cette source de gravure avancée est contrôlée par la température et intègre le contrôle de la pression, du débit et des réactifs pour améliorer le contrôle du procédé et les performances de gravure. En outre, la source de gravure peut être ajustée pour fournir une gravure rapide et précise sur une variété de plaquettes non polies et polies. TOKYO ELECTRON La source de gaz avancée de Telius SP est configurée avec une chambre de gravure à quartz intégrée, une unité de gravure à courant continu pulsé et un compteur de lecture numérique pour une gravure précise. La gravure numérique par ordinateur des impulsions et du courant continu assure une uniformité et une précision optimales dans les résultats des processus. Telius SP dispose également d'un écran plat (FPD) qui fournit aux utilisateurs des signaux de rétroaction directe du processus. Les capacités avancées de gravure par voie humide de TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP fournissent une large gamme de profils réactifs de gravure par voie humide. Le profilage de début à fin et l'optimisation des paramètres de source permettent d'améliorer les performances de gravure et de retrait, ce qui donne un rendement de procédé supérieur et un débit accru. Un commutateur automatique de gravure humide permet aux utilisateurs de commuter facilement entre les profils de gravure humide et sèche. TEL Telius SP dispose également d'un équipement de gravure à sec précis avec pression automatisée, contrôles de température et surveillance des processus pour une optimisation accrue de la gravure. La capacité de gravure sèche est également disponible pour les flux de processus latéraux ou double face. La chambre de gravure embarquée est capable de maintenir de grandes plaquettes avec une répartition uniforme des gravures tout au long. TOKYO ELECTRON Telius SP offre une variété de fonctionnalités et d'accessoires supplémentaires pour augmenter sa fonctionnalité. Son système de contrôle automatique du poids (AWCS) et son robot de manutention des plaquettes (WHR) sont conçus pour améliorer la précision et la fiabilité des processus. Un mandrin refroidi est disponible pour le refroidissement des plaquettes ou des substrats. Un outil de gravure supplémentaire, tel qu'une unité de gravure ionique réactive (RIE), peut être ajouté pour permettre à la machine d'effectuer une gravure RIE réactive. Telius SP est la solution parfaite pour la gravure de fonctionnalités de processus avancées, ainsi que pour obtenir des processus fiables et uniformes avec un débit supérieur par rapport à d'autres systèmes de gravure. Sa flexibilité, sa technologie de pointe et ses capacités d'optimisation des procédés en font la machine de gravure idéale pour la production de semi-conducteurs haut de gamme.