Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197560 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un équipement de gravure/cueillette entièrement automatisé conçu pour la gravure et la cueillette de matériaux utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs et d'écrans plats. Le système est capable d'effectuer la lithographie complète et la cueillette des plaquettes en un seul processus. Cela permet d'économiser du temps et des coûts et aide à obtenir de meilleurs rendements. L'unité est typiquement équipée d'une chambre de dépôt de couches ultra minces, d'une chambre de gravure et d'une chambre de cueillette. La chambre de dépôt de couches ultra minces est conçue pour déposer des couches ultra minces de matériaux nécessaires à la fabrication de semi-conducteurs. La chambre de gravure est utilisée pour effectuer la gravure de précision des couches, tandis que la chambre de cueillette est utilisée pour effectuer la cueillette chimique tp enlever les couches de film indésirables. La machine intègre un mécanisme automatisé de verrouillage de charge et un outil de transfert de cassette à chambre. Le mécanisme automatisé de verrouillage de charge facilite le chargement et le déchargement des substrats tandis que l'actif de transfert de cassette à chambre est utilisé pour transporter les substrats de la cassette aux chambres de traitement individuelles. TEL Telius SP est capable de produire des motifs diélectriques haute densité avec des résolutions verticales et latérales sub-microns. Il offre une grande homogénéité et une répétabilité, ce qui le rend adapté aux applications nécessitant un traitement précis. Le modèle offre également un contrôle supérieur des processus, ce qui permet d'assurer la répétabilité des résultats des processus et une fabrication de haute qualité. En outre, TOKYO ELECTRON Telius SP comprend une recette intégrée et un équipement de traitement des données, qui permet à l'utilisateur de stocker et de récupérer en toute sécurité les recettes et les résultats de processus. Cela contribue à améliorer la cohérence des processus et l'efficacité globale. Dans l'ensemble, Telius SP est un système fiable et efficace qui fournit des résultats de gravure et d'ashing de haute précision pour un large éventail d'applications de fabrication d'appareils. Ses fonctions de sécurité automatisées, sa recette avancée et son unité de traitement des données, ainsi que son fonctionnement convivial le rendent idéal pour réaliser des processus de fabrication d'appareils précis et économiques.