Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197570 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher parallèle de type cluster idéal pour une production à haut volume. C'est une solution économique pour créer des structures 3D complexes avec précision et précision. Il dispose d'un équipement d'exploitation simple et convivial qui le rend bien adapté pour guider les opérateurs à travers des recettes de processus avancées. TEL Telius SP contient quatre modules distincts pour le revêtement photorésist de la plaquette, le prétraitement, la gravure et l'ashing de la surface supérieure. Chaque module est construit pour une performance fiable et répétable avec peu de temps d'arrêt. Le pré-traitement comprend des injections d'oxygène et de fluor, qui rendent les surfaces lisses et équilibrées. Un mandrin électrostatique est utilisé pour maintenir la plaquette en place, et un système d'impédance avancé comprend l'ASYST Real-Time Plasma Unit, pour contrôler la puissance du plasma. Le module de gravure consiste en un processus plasma de haute puissance, capable de créer une structure 3D profonde et complexe jusqu'à une taille micron avec un degré élevé de précision et de précision. Le temps de gravure et les matériaux utilisés sont surveillés et contrôlés automatiquement pour garantir un résultat de qualité. En outre, une cassette multi-axes est disponible pour le montage de substrat de précision, et une caméra CCD privée EMGD est incluse pour surveiller le niveau d'eau DI lors des opérations de rinçage. Le module ashing utilise un plasma d'oxygène à forte puissance pour éliminer les photorésistances organiques et inorganiques. Il offre également une finition lisse pour la surface, avec une profondeur de 0,1 µm de précision. Ce module présente également un blindage circonférentiel qui empêche les particules émises par le procédé plasma de diffuser les plaquettes dans les compartiments voisins. TOKYO ELECTRON Telius SP a une grande capacité de 2 400 substrats, ce qui en fait le choix idéal pour une production à haut volume. Il est également compatible avec la plupart des produits chimiques et des gaz et est livré avec un design modulaire, ce qui le rend facile à mettre à niveau. En outre, la machine est hautement automatisée avec une large gamme de fonctions de sécurité intégrées qui assurent son fonctionnement à long terme. Cela fait de Telius SP la solution parfaite pour traiter les structures à haute résolution avec précision et précision.