Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197577 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher utilisé dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un asher de taille complète conçu pour traiter les plaquettes haute densité et fournir des performances supérieures pour les exigences critiques des semi-conducteurs. TEL Telius SP est un outil complet composé d'un équipement de chargement linéaire à 5 axes avec un chariot de transfert de plaquettes multiple. Il dispose d'une console d'affichage de 19 pouces et clavier avec plusieurs choix de langue. La disposition permet une commutation facile du dispositif plomb/sans plomb et dispose d'un système de manutention automatique des plaquettes avec filtre liquide intégré. L'unité est construite en acier inoxydable de haute qualité pour une meilleure résistance à la corrosion, et est pré-câblée avec un câble de sécurité ESD. TOKYO ELECTRON Telius SP dispose de plusieurs chambres de processus avec un spinner 4 axes, donnant aux utilisateurs un excellent contrôle sur les processus de gravure et de cendrage. Le spinner est capable de tournage rapide et haute résolution, ainsi qu'une gamme de vitesse variable de 10k tpm à 25k tpm. Il dispose également d'une machine de contrôle de pression différentielle améliorée, d'une technologie de vide optimisée et d'une alimentation électrique uniforme. Le processus de nettoyage est également amélioré, avec un processus de bromure d'hydrogène pour nettoyer efficacement les plaquettes et la reconstitution des produits chimiques de nettoyage automatiquement. Telius SP dispose également d'une chambre de refroidissement génératif, qui améliore l'élimination des produits de réaction et diminue les dommages au masque. En plus de ses capacités de gravure et de cendrage de haute précision, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP offre des fonctionnalités de sécurité avancées, telles que le contrôle automatique de l'accès des utilisateurs, le détecteur de chocs et l'outil de protection contre l'incendie. Il est également livré avec une variété d'outils de gestion de processus et d'intégration pour différents logiciels TEL. TEL Telius SP est un outil parfait pour la production en grand volume et le contrôle de qualité de haute précision dans une installation de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour traiter différentes tailles et épaisseurs de plaquettes avec des temps de cycle rapides et un processus de haute précision. Il obtient de meilleurs résultats de processus grâce à ses capacités de suivi de température, de temps et de courant, et est équipé d'une large gamme d'options de contrôle de processus.