Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197580 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un équipement de gravure avancé conçu pour la production en série dans l'industrie de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur à trois axes combinant des étages de mouvement, des chambres de gravure de haute puissance et des systèmes de dépôt sous vide. Le système est capable d'assurer un contrôle extrêmement précis des paramètres du procédé de gravure pour une large gamme de substrats incluant des plaquettes, des films et des guides d'ondes. Sa technologie de pointe se traduit par un taux de répétabilité élevé, un faible taux de défauts et des délais de traitement rapides. TEL Telius SP offre des capacités de gravure à la fois verticale et horizontale, les deux processus étant contrôlés de manière indépendante pour une flexibilité maximale. Le procédé de gravure verticale utilise une chambre de gravure sans plasma pour la gravure par une méthode d'ablation physique telle que la gravure par pulvérisation ou la gravure par oxyde thermique. Ce procédé est conçu pour assurer un contrôle précis et une uniformité de la profondeur de gravure et de celle des parois latérales. Son procédé de gravure horizontale utilise une chambre de gravure à plasma contrôlée séparément, permettant un contrôle fiable et précis du profil avec une excellente définition des caractéristiques. La chambre de gravure de haute technologie dans l'unité dispose d'une machine avancée de canaux de débit de gaz et de pompes qui sont précisément contrôlés, permettant d'ajuster la pression de gaz et les débits de gaz pour atteindre le taux de gravure désiré. L'outil de dépôt sous vide intégré permet de déposer rapidement du nitrure de silicium, de l'oxyde de silicium et du poly-silicium sur divers matériaux de substrat. Cela peut être utile pour les applications de gravure nécessitant une protection supérieure contre la contamination de l'environnement. En outre, TOKYO ELECTRON Telius SP offre une large gamme de fonctionnalités supplémentaires pour améliorer la commodité et la sortie des processus. Il s'agit notamment d'un poste de nettoyage de port de charge très sensible pour nettoyer en permanence la chambre de traitement, d'un suivi en temps réel des taux de gravure, d'un suivi programmable spécialisé des centres, d'un alignement automatisé des substrats et de plusieurs systèmes de gestion des recettes permettant un passage rapide entre les différents processus de gravure. En conclusion, Telius SP est un actif de gravure à trois axes très avancé qui offre des résultats supérieurs aux processus de gravure traditionnels. Sa combinaison d'étapes de mouvement, de processus de gravure et de systèmes de dépôt sous vide permet un contrôle sans précédent des paramètres du processus de gravure, ce qui donne des résultats de gravure répétables et fiables pour une large gamme de substrats. De plus, son poste de nettoyage du port de charge, sa surveillance en temps réel, son alignement automatisé des substrats et ses systèmes de gestion des recettes offrent des fonctionnalités inestimables qui permettent un contrôle maximal et garantissent une qualité de débit et de sortie élevée.