Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197601 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher conçu pour assurer des opérations de gravure et de cendrage à grande échelle et de précision. Cet équipement a été conçu avec une architecture ouverte qui permet l'optimisation des processus, ainsi que l'intégration dans les lignes de production. TEL Telius SP est piloté par un générateur puissant pour assurer des performances de processus stables, avec tension réglable, courant, temps de gravure total et commodité impulsionnelle/arrêt. Ce système a été développé pour fournir des procédés de gravure à grande échelle, pouvant accueillir jusqu'à 6 "de diamètre de plaquettes, et utilisant une méthode hybride de gravure sèche/plasma haute densité pour permettre des films d'ultra haute précision. TOKYO ELECTRON Telius SP utilise un générateur de haute puissance pour des processus de gravure et de cendrage robustes et stables, avec une fréquence de haut de gamme allant jusqu'à 300GHz et une puissance électrique haute fréquence allant jusqu'à 20kW. Ce graveur/asher est capable de traiter une grande variété de gaz de procédé, de l'oxygène et de l'azote aux gaz rares et est équipé d'une fonctionnalité spéciale de nettoyage du plasma. De plus, Telius SP dispose d'un mode hyperfréquence hautement contrôlable et d'une capacité de commande d'allumage, commutation à 4 voies, tir multi-prises, fonctionnement de haute précision avec des données de processus rangées en mémoire et une parfaite uniformité des couches gravées à travers la plaquette. Avec son alignement automatique et sa capacité de chargement/déchargement à base de cassettes, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP offre un flux de processus entièrement automatisé avec un faible débit de temps et d'excellentes performances. L'unité a été conçue pour une capacité de maintenance optimale, permettant une réponse rapide et fiable aux demandes de service. L'ensemble de la machine est couplé avec un logiciel complet contenant un haut degré de personnalisation des paramètres, interface utilisateur graphique (UI), et l'exportation/importation de données de processus, permettant une intégration en douceur dans les lignes de production. Dans l'ensemble, TEL Telius SP etcher/asher fournit une solution de pointe pour les opérations de gravure et d'ashing de précision. Avec ses performances haut de gamme, son large éventail de capacités de processus et son débit automatisé, TOKYO ELECTRON Telius SP est un choix idéal pour les lignes de production nécessitant une grande efficacité et une excellente précision.