Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197605 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher avancé utilisé pour le traitement de plaquettes de silicium. Il est spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, ce qui le rend idéal pour les applications de gravure et d'ashing comme MEMS, MOEMS, et micro-échelle de caractéristiques. L'équipement se compose de composants tels qu'une unité HDX multi-chambres, un port de verrouillage de charge, des goupilles de gaufres, une grande unité de contrôleur d'ordinateur central, et plusieurs unités périphériques. L'unité HDX est capable de graver et de soutirer une plaquette à la fois. Le port de verrouillage de charge peut stocker jusqu'à 16 plaquettes et dispose d'un bras robot de transfert de 150 mm qui aide à transférer les plaquettes du port aux gousses. Les goupilles de gaufres peuvent stocker jusqu'à 60 plaquettes chacune et aider à fournir des opérations de gravure/cueillette précises et contrôlées. Le contrôleur central est chargé de gérer le fonctionnement du système, y compris les paramètres de traitement des recettes, le contrôle de l'équipement de traitement et la gestion des données. Cette unité communique également avec des unités périphériques telles que l'écran LCD, l'unité des opérateurs de panneaux tactiles et l'unité de contrôle de l'alimentation en gaz. TEL Telius SP est équipé de fonctions avancées telles que le traitement des plaquettes par lots, le suivi des données RFID et les navettes automatisées. Il peut également être utilisé à distance via une connexion Ethernet. En outre, son faible impact environnemental est attrayant pour les clients qui cherchent à réduire leur empreinte. En termes de fonctionnement, l'unité fournit des résultats précis et reproductibles avec un temps de cycle de production de 15,4 minutes. La technologie de source de plasma AGC assistée par vide permet des résultats optimisés de gravure/cueillette de haute qualité. L'utilisation de la force de l'électrode Tuning-TEC aide également à réduire la production de particules à l'intérieur des lots, assurant ainsi une amélioration du rendement. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Telius SP est une machine efficace avec des capacités avancées qui permettent des applications de gravure/ashing de haute qualité. Ses résultats précis et reproductibles ainsi que son faible impact environnemental en font une solution idéale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.