Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197607 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher conçu pour fournir un haut débit et un excellent contrôle des particules pour le traitement des substrats. Le graveur/asher est adapté à tous les types de substrats et dispose d'un système automatisé de contrôle de la pression de la chambre et d'une tête de traitement multi-axes. Le graveur/asher a un design compact avec une faible empreinte et un débit élevé de 4 entrées de gaz. Le graveur/asher dispose d'une tête de traitement 6 axes très précise, qui peut monter et descendre librement et tourner, et peut également basculer avec une précision allant jusqu'à +/- 0,1 degré. La chambre a une forme rectangulaire et peut accueillir des substrats jusqu'à 200x200mm. La pression à l'intérieur de la chambre est contrôlée par un système de commande sophistiqué, qui maintient une pression constante de 1,3 Torr pendant le processus de gravure. L'etcher/asher dispose également d'une technologie de manutention de plaquettes multi-étages, qui permet un traitement efficace de différents types de substrats. L'etcher/asher est idéal pour les applications avancées MEMS et semi-conducteurs et dispose d'un système de commande à distance avec une interface utilisateur graphique pour la mise en place de recettes. Il prend également en charge la maintenance à distance et la mise à niveau du logiciel. L'unité dispose d'unités intégrées de purification des gaz pour réduire le nombre de particules émises par le procédé de gravure. Il dispose également d'un capteur infrarouge capable de détecter la présence de particules dans la chambre et d'ajuster la pression en conséquence. Le graveur/asher a également une faible consommation d'énergie, ce qui le rend adapté à toutes sortes d'opérations. De plus, le graveur/asher utilise un procédé plasma à basse température pour la gravure, ce qui réduit le nombre de défauts thermiques sur le substrat. En outre, TEL Telius SP etcher/asher est livré avec une garantie à vie et il est compatible avec tous les types de gaz de gravure et les systèmes de distribution de gaz.