Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197608 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher doté d'une technologie de pointe pour produire des résultats de haute qualité. Cet outil est conçu pour permettre la réalisation de circuits électroniques avec des largeurs de lignes exceptionnellement faibles, des topographies à haut rapport d'aspect, et un contrôle précis du profil. La chambre de traitement de l'instrument mesure 19,7 x 19,7 x 3,1 po (500 x 500 x 80 mm) et peut supporter des plaquettes de 295 mm de diamètre. Il est équipé d'une pompe à diaphragme à double étage, alignée verticalement, qui sert à maintenir la pression du procédé. En outre, il dispose d'un équipement de distribution de gaz total qui permet un contrôle indépendant de 8 gaz, tels que O2, BCl3, C4F8. Il fournit plusieurs configurations pour différentes exigences de gravure, telles que le dénudage de résistance, la gravure de tranchées profondes, la gravure de cavité, le profilage et le transfert de motifs. Le système dispose également d'un générateur de numérisation numérique très précis qui permet un balayage rapide de la plaquette. De plus, sa technologie de compensation d'inclinaison, utilisée en combinaison avec une étape mécanique de précision, assure une uniformité sur toute la surface de la plaquette. De plus, son unité de cartographie de surface permet une optimisation de l'uniformité du centre au bord de la plaquette. Et sa surveillance avancée des processus permet d'assurer la meilleure qualité des performances. Pour maximiser les performances, TEL Telius SP est livré avec une interface utilisateur personnalisée qui permet un fonctionnement facile. Son contrôle numérique des processus comporte une surveillance et un contrôle des processus en temps réel, ce qui le rend facile à mettre en place et à maintenir des processus fiables. Enfin, sa machine d'exécution automatique de recette offre une précision de processus et une répétabilité maximales. TOKYO ELECTRON Telius SP est l'outil idéal pour la gravure/cueillette de surfaces avec des motifs extrêmement fins. Ses fonctionnalités et options avancées offrent une plus grande précision, des performances robustes et une flexibilité de processus, ce qui le rend adapté aux applications les plus exigeantes.