Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9402146 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un système de graveur/asher avancé, utilisé pour la gravure diélectrique et le nettoyage des plaquettes dans l'industrie de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un système entièrement automatisé et performant qui offre une précision, une répétabilité et un débit inégalés. TEL Telius SP est équipé d'une alimentation électrique RF 9kW et d'un réseau d'adaptation RF pour un contrôle de gravure/procédé propre optimal. La machine est également équipée d'une source de plasma à pression atmosphérique, permettant un traitement rapide et uniforme. TOKYO ELECTRON Telius SP est conçu pour la gravure latérale supérieure ou inférieure de couches diélectriques sur des plaquettes, ou la gravure d'ouvertures dans des substrats et des masques. La capacité de gravure est appuyée par un processus très précis et reproductible ; cela garantit des résultats cohérents tout en économisant du temps et des coûts. En outre, le système a à la fois des détecteurs de points d'extrémité et des aligneurs de masques d'ombre, et peut être utilisé pour les processus de gravure positifs et négatifs. Telius SP comprend également un élément de nettoyage des plaquettes de haute précision, permettant d'éliminer les contaminants des plaquettes. La machine utilise un plasma haute densité unique, une optimisation du temps de traitement et une technologie accélérée de mouvement des plaquettes pour éliminer les débris sur les surfaces des plaquettes. Le sytème comporte également une surveillance intégrée des particules, offrant des performances de nettoyage inégalées avec un taux maximal de particules déchargées < 5 particules/cm2/min. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP fournit un outil de gravure/nettoyage fiable et efficace pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses fonctionnalités avancées, telles que le contrôle automatisé des processus, les aligneurs de masques d'ombre et le nettoyage plasma haute densité, garantissent des résultats supérieurs avec une répétabilité et un débit supérieurs.