Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9412454 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP est un graveur/asher conçu pour la production de semi-conducteurs. Cet outil est capable de graver à l'eau forte des dessins de haute précision sur substrates, tels que les gaufrettes, avec un taux graver à l'eau forte jusqu'à 1,7 µm/min dans le plasma Ar/SF6. Cet etcher est parfaitement adapté à la fabrication de dispositifs et de circuits avancés. TEL Telius SP etcher est livré avec une grande chambre, qui fournit un environnement de gravure idéal en réduisant la pression et les concentrations chimiques qui peuvent affecter les taux de gravure. Une version améliorée de l'équipement sous pression d'origine évite les perturbations de pression dans la chambre et contribue également à réduire la contamination croisée entre les procédés. L'unité est également équipée d'un système avancé d'orientation du substrat au niveau de la plaquette, permettant une hauteur et une précision d'orientation répétables de la plaquette à graver. TOKYO ELECTRON Telius SP est équipé d'une interface d'automatisation généralisée (GAI), qui permet à l'utilisateur de configurer, surveiller et contrôler les recettes de gravure et les réglages de paramètres en temps réel. Cette automatisation avancée permet des opérations rapides et fiables sans intervention de l'utilisateur. Les recettes de procédé présentent une méthode pratique pour graver des structures de géométries variées sur des substrats, soit individuellement, soit en lot. Telius SP etcher dispose également d'une unité de diagnostic intelligent (IDS) avancée, qui contribue à assurer une performance optimale. Cette machine utilise une suite de capteurs pour surveiller en permanence les conditions de processus et peut ajuster les paramètres de la recette pour garantir les meilleurs résultats. Cet etcher utilise également un outil d'électrode tridimensionnel unique, offrant des taux de couverture de surface supérieurs ainsi que des largeurs de ligne d'interconnexion métalliques plus petites. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP etcher est conçu pour réduire les coûts d'entretien et de réparation. L'unité intègre un design robuste avec des composants d'enlèvement rapide, ce qui le rend facile à entretenir et réparer l'graveur rapidement et efficacement. L'etcher offre également un atout de correction basse pression et un modèle de nettoyage intelligent, qui permet de réduire les temps d'arrêt pendant les périodes de maintenance. En conclusion, TEL Telius SP etcher/asher est une machine tout-en-un conçue pour la fabrication de produits semi-conducteurs. Il est capable de vitesse de gravure rapide et de haute précision sur les substrats et offre plusieurs fonctionnalités avancées, y compris des systèmes d'automatisation et de diagnostic, pour garantir des performances optimales. Cette machine est idéale pour la production de dispositifs et de circuits avancés, et offre une fiabilité, une répétabilité et des coûts de maintenance très bas.