Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30444VVV #9219374 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS TSP-30444VVV etcher/asher est un outil avancé et performant de traitement des plaquettes utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour la gravure, le cendrage ou l'amincissement. Cet etcher est bien adapté pour les applications qui nécessitent une gravure et une cendre avec un haut débit. Le TSP-30444VVV est un graveur et asher rapide, précis et économique qui peut gérer une large gamme de tailles de plaquettes (jusqu'à 150 mm). L'graveur dispose d'une puissante gravure à courant continu et des technologies de cendrage de plasma ECR qui fournissent une gravure lisse et une grande uniformité. L'outil est également livré avec un balayage contrôlé par codeur, ce qui garantit des résultats précis et reproductibles. Le TSP-30444VVV comprend un puissant équipement de contrôle d'alimentation en gaz, qui permet une détection précise du point d'extrémité même en présence de gaz de procédé présentant de grandes différences de réactivité. Ce système permet également d'affiner le processus de gravure ou de cueillette et de produire des résultats uniformes sur des plaquettes de tailles et de matériaux variés. L'unité dispose également d'une machine à vide intégrée qui garantit que les particules n'adhèrent pas aux plaquettes pendant le processus de gravure ou de cueillette. Cet outil permet également de réduire le risque de contamination des procédés et de maintenir la haute qualité des surfaces des plaquettes. L'etcher comprend un actif automatisé de chargement de plaquettes qui peut accueillir jusqu'à 8 plaquettes individuelles en un seul lot, augmentant ainsi le débit et permettant l'exécution de multiples processus en un court laps de temps. L'etcher dispose également d'un modèle de stockage de recette programmable qui permet de programmer facilement une ou plusieurs recettes de processus personnalisées. Le TSP-30444VVV avancé est conçu pour fournir des résultats fiables et reproductibles avec une large gamme de processus de gravure et de cueillette. Son équipement sophistiqué de contrôle de l'alimentation en gaz et ses capacités de chargement efficaces des plaquettes en font un outil très efficace pour les fabricants de semi-conducteurs.
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