Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS (JIOX) #293646437 à vendre en France

TEL Telius TSP-30555SS (JIOX) est un graveur/asher conçu pour des applications de wafer dans la fabrication de semi-conducteurs. L'unité dispose d'une grande chambre de procédé qui permet une gamme complète d'opérations de gravure, telles que la gravure ionique réactive (RIE), gravure-retour, broyage ionique, gravure ionique et gravure ionique réactive profonde (DRIE). La chambre dispose également d'un débit de gaz réglable et d'un interrupteur automatique à gaz, de sorte que les utilisateurs ont la flexibilité de travailler avec divers processus de gravure. Le TSP-30555SS est équipé d'un étage motorisé 3 axes puissant qui permet un chargement et un positionnement précis des plaquettes. L'unité dispose également d'un couteau à air en option qui aide à minimiser la génération de débris, d'une vanne de grille qui maintient une réaction rapide et un contrôle de la température pendant le processus de gravure, et d'une turbomachine qui aide à maintenir la pression de la chambre basse. Son verrouillage de charge avancé permet également un rechargement rapide des plaquettes et un entretien facile. En termes de sécurité, TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS dispose de plusieurs fonctionnalités intégrées qui améliorent la sécurité des opérateurs. Il est livré avec un système automatisé d'identification des portes et des plaquettes de sécurité et un système d'urgence qui permet l'arrêt rapide de l'graveur en cas d'urgence. L'unité dispose également de plusieurs dispositifs de sécurité tels qu'un système d'interception, une protection par film sec et un ioniseur, qui contribuent à réduire les risques de contamination et d'endommagement de la chambre de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS offre également des fonctionnalités de commodité d'utilisation, y compris une interface graphique pour le fonctionnement et la gestion des données, des outils de surveillance et d'étalonnage conviviaux et un gestionnaire d'appareil intégré. Il dispose également d'interfaces pour les entrées et sorties de signaux externes, ce qui permet une plus grande flexibilité dans le contrôle des paramètres et des processus. En outre, l'unité est équipée de la connexion Ethernet et RS232, qui permet aux utilisateurs de se connecter aux systèmes réseau ainsi que la surveillance et le contrôle à distance. Dans l'ensemble, TEL Telius TSP-30555SS est un graveur/asher puissant avec une large gamme de fonctionnalités et de flexibilité. Sa chambre peut accueillir une variété de processus de gravure et ses caractéristiques de sécurité, une conception conviviale et des interfaces externes permettent aux utilisateurs de travailler efficacement et efficacement.