Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS #9231837 à vendre en France
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ID: 9231837
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Dry etchers, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
VAT 65051-JH52-AUD1 APC, 14"
Process gases:
Gas 1: CO (100 SCCM)
Gas 2: COS (15 SCCM)
Gas 3: C4F6 (30 SCCM)
Gas 4: C4F8 (30 SCCM)
Gas 5: CH2F2 (30 SCCM)
Gas 6: N2 (150 SCCM)
Gas 7: CO (150 SCCM)
Gas 8: AR (2000 SCCM)
Gas 9: CHF3 (60 SCCM)
Gas 10: CF4 (30 SCCM)
Gas 11: O2 (30 SCCM)
Gas 12: O2 (2000 SCCM)
Gas 13: CO (150 SCCM)
Gas 14: CO (150 SCCM)
Gas 16: O2 (10 SCCM)
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400 / -
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C4 Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Carrier stage: (4) Load ports
Process module: (4) Power supplies
Gas box: (3) Power supplies
Data back up: FD
Gas line injection: 16 Line
Gate: V-TAC
Missing parts:
End point detection
Chamber PC and bottom and gas and electronic B/D
SE2000 EPD Sensor
AC Rack main
Chamber 15 gas lines MFC
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SSS etcher/asher est un équipement de dépôt et d'enlèvement de couches minces de haute précision conçu pour la recherche et la production avancées. Cet etcher/asher utilise une technologie de vide vertical intégrée couplée à un logiciel de contrôle avancé pour fournir des capacités de dépôt et de retrait avec une grande précision et un débit élevé. Le TSP-30555SSS dispose d'un contrôleur tactile intuitif et d'un moniteur couleur pour fournir une interface facile à utiliser qui rend le fonctionnement et la maintenance commode. Le système a une capacité de processus monobloc et est livré avec deux sondes réglables pour la manipulation précise des plaquettes. Ce graveur/asher peut accueillir des échantillons de 2 « à 8 » avec un positionnement réglable automatiquement. Il offre une grande variété de gaz de dépôt et de gravure, y compris l'oxygène, l'azote et le tétrafluorure de carbone. Au cœur de cette unité se trouve une robuste pulvérisation magnétron à courant continu alimentée par une source RF haute fréquence pour une productivité élevée. Ce graveur/asher dispose également d'un contrôle complet de la température PID des plaquettes. La plage de température est de 80 ° Celsius à 450 ° Celsius. En outre, le TSP-30555SSS a la capacité de traiter à la fois les films semi-conducteurs et métalliques. La machine est équipée d'une grande variété de granulés et de matériaux maillés pour de telles applications. Il a également des capacités simultanées de gravure d'ions métalliques et d'ensemencement. Le TSP-30555SSS est un graveur/asher convivial, fiable et économique. Sa grande précision, son contrôle supérieur des processus et sa large gamme de matériaux disponibles en font un excellent choix pour la recherche et la production avancées.
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