Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-3055SSS #9265564 à vendre en France
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ID: 9265564
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Dry etcher, 12"
Process: SHIN
Processing type: Vacuum
Wafer type: Notch
Process gases:
(16) Gases: SFC1480FAPP2PL8
VAT 65051-JH52-APS1 APC, 14"
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron (CM 1) / MKS / 627BRETDD2P / 33.33 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 627B11TDC2P / 1.333 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 626A01TDE / 133.32 PA
Baratron (CM 2) / MKS / 51A11TGA2BA003 / 1.333 PA
BA Gauge / INFICON / BPG400
SHIMADZU EI-4203 LMC-T1 Turbo Molecular Pump (TMP)
SHIMADZU EI-4203MZ Turbo Molecular Pump (TMP) Controller
SCINCO SELME12ZS-BP3 Robot
HV Controller
DAINEN AGA-50B2 Generator
WGA-50E Generator
HPK10Z1-TE2 DC HV Generator
DAINEN AMN-50E3 Matcher
DAINEN WMN-50C6A Matcher
Sub module:
AC Rack
DC Rack
Process module: Power supplies
Gas box: Power supplies
Data back up: USB
Gas line injection: 16 Lines
Gate: V-TAC
SE2000 End point detection
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Missing parts:
Load ports
EPD PMT Sensor
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-3055SSS est un équipement de gravure/cendres de pointe conçu pour la gravure et le cendrage de haute précision des matériaux difficiles à graver. Il est équipé d'une technologie haut de gamme, d'une flexibilité supérieure et d'une excellente résolution de surface. Le système se compose d'une unité de traitement principale, de quatre modules de fonctionnement de type plaque chaude et d'un module d'oxydation. L'unité principale de traitement est équipée d'une source de plasma à cavité, d'un électro-aimant tournant et d'un réseau de plasma. Ces composants combinés permettent à l'unité d'être flexible dans son fonctionnement pour accueillir une gamme de matériaux, du métal standard aux substrats délicats. Les modules de plaque chaude sont utilisés pour augmenter les vitesses de gravure et de cendrage, et sont contrôlés en température pour assurer des résultats de gravure optimaux. Les plaques chaudes peuvent être utilisées pour chauffer rapidement des substrats à des températures allant de la température ambiante à 1000 ° C Le module d'oxydation augmente la résolution de surface de la gravure, et peut être utilisé pour créer des motifs sur différents substrats. La machine est très précise et dispose d'une précision de 1 nanomètre pour les processus de gravure et de cueillette. Il a également une vitesse de balayage allant jusqu'à 4 m/s, assurant des résultats de processus rapides et précis. En outre, l'outil peut être utilisé dans plusieurs cycles répétables pour des processus tels que les processus photolithographiques. TEL Telius TSP-3055SSS est l'un des systèmes les plus polyvalents et avancés disponibles. Il est fiable et offre une excellente précision et des caractéristiques pour la gravure et l'ashing d'une large gamme de substrats. Le modèle est conçu pour garantir des performances de processus maximales et une grande précision. C'est le choix idéal pour tout laboratoire, installation de recherche ou cadre industriel.
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