Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius #293824453 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Telius
ID: 293824453
Etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius est un graveur/asher avancé, conçu pour la gravure sèche haute performance. Cet équipement est idéal pour la recherche et le développement de MEMS, de semi-conducteurs composés et d'autres matériaux. Ce système de gravure de haute précision est optimisé pour une utilisation dans le traitement sous-microscalique et le dépôt de matériaux. Avec ses technologies avancées PLC (Programmable Logic Controller) et FEAST (Field Effect Asynchronous Selective Transfer), TEL Telius etcher/asher fournit des processus de gravure et de dépôt automatisés et précis. TOKYO ELECTRON Telius est un design compact avec une plate-forme en accès libre et un panneau de commande numérique ergonomique. Il offre un contrôle de température de précision avec un chauffage de substrat à quartz de faible puissance très précis, ainsi qu'un contrôle précis du débit de gaz et un contrôle de pression pour optimiser la propreté de surface et la gravure. Il offre également une plage de vitesse variable avec des paramètres réglables pour la gravure et l'épaisseur de dépôt. Telius est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité standard, y compris des systèmes de sécurité incendie et gaz, d'arrêt automatique et de capteurs à faible débit. De plus, cette unité offre un blindage protecteur pour minimiser l'exposition aux matières dangereuses. Cette machine dispose également d'un refroidisseur à eau Peltier, pour assurer les basses températures nécessaires pour le traitement micro et nanométrique. Le Telius TEL/TOKYO ELECTRON de haute puissance est conçu pour répondre aux exigences de traitement multidimensionnelles, de haute mobilité et à basse température des matériaux contemporains. Il offre un outil sous vide à haut rendement et une conception de chambre ultra-stable, offrant le plus haut niveau de gravure et de précision de dépôt et d'uniformité. TEL Telius est également équipé de la technologie C- Vac™ spécialisée, un procédé sous vide unique qui maintient et favorise des capacités de nettoyage et de gravure supérieures. Le graveur/asher utilise un design de chambre intégré/asher personnalisé, qui permet une distribution ionique uniforme et des performances de gravure uniformes. En conclusion, TOKYO ELECTRON Telius est un actif avancé de graveur/asher, optimisé pour l'utilisation dans le traitement sub-microscale et le dépôt de matériaux. Il offre un contrôle précis de la température, une plage de vitesse variable et plusieurs caractéristiques de sécurité standard, permettant un processus de gravure et de dépôt sûr et fiable. Le modèle est en outre équipé d'une technologie C- Vac™ spécifique, offrant des performances de gravure et de dépôt supérieures. Telius est un équipement de gravure de haute puissance idéal pour la recherche et le développement de MEMS, de semi-conducteurs composés et d'autres matériaux.
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