Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN #9399574 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN est un appareil de graveur et asher de pointe utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système a été conçu pour créer des motifs précis sur des plaquettes afin de produire des composants de circuit intégré (IC) de haute qualité. Le JIN est une collection d'outils intégrés pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, allant des outils de gravure et d'ashing aux outils de gestion chimique. Les outils de gravure du JIN utilisent un plasma à couplage inductif (ICP) pour transférer rapidement et avec précision des masques à motifs de la surface de la plaquette sur les couches du dispositif sous-jacent. Ce procédé élimine les résidus de matériaux, améliorant les performances et la fiabilité des dispositifs. Le JIN prend également en charge plusieurs techniques de gravure, y compris la tranchée profonde, la force standard et la gravure séquentielle. Toutes les techniques sont optimisées pour l'efficacité et la précision, et l'unité est capable de réaliser des profils de gravure complexes avec une résolution de profondeur uniforme. L'outil ashing du JIN est un outil très efficace et précis pour l'enlèvement de la matière des plaquettes et des surfaces du dispositif. En utilisant une combinaison de la technologie Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition et Microwave-Editor-Plasma (MEP), la machine est capable d'enlever efficacement le matériau tout en laissant derrière elle une couche solide de polymère protecteur. Cette couche permet de protéger le dispositif contre l'oxydation, de maintenir des performances élevées et de prévenir la contamination des matériaux. Le JIN dispose également d'un puissant outil de gestion chimique (CMS) pour le contrôle précis des produits chimiques liquides. La CMS garantit que seuls les produits chimiques de la plus haute qualité sont utilisés dans les processus de gravure et de cueillette, et l'actif peut précisément surveiller et ajuster la concentration des produits chimiques afin de maximiser la performance du procédé. Grâce à ses capacités avancées d'automatisation et de calibration, le CMS garantit un comportement chimique cohérent, en veillant à ce que les processus de gravure et d'ashing soient précis et reproductibles. TEL Tellius JIN est un modèle de gravure et de cendrage fiable, précis et efficace pour l'industrie des semi-conducteurs. Sa technologie de pointe et ses outils puissants apportent une augmentation significative de la qualité et des rendements des appareils, et l'équipement assure un contrôle précis des processus de gestion chimique, de gravure et d'ashing. Avec son haut niveau de précision et de répétabilité, le JIN est un outil essentiel pour la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs.
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