Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trais #9211658 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Trais est un équipement de graveur-asher utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit un processus de gravure/ashing rapide et précis qui est très reproductible et précis. Le système TEL Trais se compose de plusieurs équipements clés, dont une unité de contrôle, une unité de gravure, une unité de rafraîchissement et une unité de chargement/déchargement. L'unité de contrôle est chargée de contrôler l'ensemble du processus de gravure/cueillette. Il contient une variété de logiciels qui peuvent être utilisés pour configurer le processus et ajuster pour le matériau, le réglage pour chaque couche ou processus, et les paramètres de l'équipement. Cela permet un contrôle très précis du procédé. L'unité de gravure est la principale unité de gravure/cueillette de l'unité TOKYO ELECTRON Trais. Il contient une série de chambres et de robots qui dirigent, gravent et nettoyent la plaquette. L'unité de gravure contient également une chambre apte à déposer un oxyde sur la plaquette pour former la couche d'isolation des dispositifs semi-conducteurs. L'unité de rafraîchissement est utilisée pour éliminer les particules ou contaminants indésirables qui auraient pu être laissés dans l'unité d'Etch. Il est également utilisé pour enlever tout sous-produit de gravure. L'unité de rafraîchissement est capable de nettoyer la plaquette avec des produits chimiques ultra-purs, assurant que toutes les particules résiduelles ou contaminants sont éliminés. L'unité de charge/déchargement est responsable de l'échange de plaquettes entre les différentes unités de la machine Trais. L'unité Charge/Déchargement est capable de trier et d'aligner les plaquettes pour l'unité Etch. Il peut également être utilisé pour le chargement et le déchargement des plaquettes pour un traitement ultérieur. TEL/TOKYO ELECTRON L'outil Trais est conçu pour les procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe, fournissant un processus de gravure/cueillette précis et répétable. Il est également capable de réaliser un dépôt d'oxyde et un nettoyage post-gravure, permettant des résultats très précis et reproductibles. TEL Trais est une solution très fiable et économique pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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