Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ex-II #9351479 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ex-II est un graveur ou asher spécialement conçu pour la fabrication d'appareils électroniques. Il s'agit d'un type d'équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) capable de déposer des films épais de matériaux diélectriques ou métalliques sur des substrats tels que le SiC, le SiO2 et le TaN. TEL Trias Ex-II propose des procédés rapides, précis et très reproductibles dans un design très compact, ce qui le rend adapté à la fabrication d'appareils plus petits. Le système utilise une technologie brevetée multi-canons avec une chambre Loadlock réglable qui est capable de manipuler des substrats jusqu'à 450 mm de taille. Il est bien adapté à un large éventail d'applications avancées de recherche et de développement de produits en nanotechnologie. TOKYO ELECTRON Trias Ex-II est une unité avancée qui utilise le CVD amélioré par plasma (PE-CVD) pour le dépôt de diverses couches minces. Il a un design de chambre tri-pistolet indépendant avec une tige et une tête de douche supérieure. Chaque fusil est contrôlé par chaque conducteur et émetteur. En combinant le PE-CVD avec la gravure en aval, il permet le dépôt d'une structure pelliculaire complète et dense avec un nombre minimal d'étapes de traitement. La machine est équipée d'un certain nombre de fonctions automatisées qui simplifient le processus de dépôt. Ceux-ci comprennent l'étalonnage automatique et la sélection des paramètres de processus appropriés, ainsi qu'un optimiseur d'épaisseur de couche automatique (OTR) qui favorise automatiquement la performance optimale du dépôt. De plus, Trias Ex-II est capable d'effectuer un traitement thermique et d'ajouter de la contrainte au film déposé pour simuler des conditions réelles. L'outil comprend également un moniteur EndPoint Platinum 5.5 qui fournit un contrôle en ligne en temps réel des plaquettes, permettant un contrôle précis des couches et des rendements de processus plus élevés. Il est conçu avec des emboîtements avancés pour assurer un environnement propre et a une capacité d'échappement et de dépollution. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ex-II etcher/asher est un actif de gravure puissant et polyvalent bien adapté à la fabrication de dispositifs microélectroniques avancés. Il fournit un processus précis et hautement reproductible avec un débit rapide et un excellent contrôle de couche et d'extrémité, permettant la fabrication de dispositifs avec des rendements plus élevés.