Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias LPA #9161871 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias LPA est un graveur et asher de planarisation mécanique chimique (CMP) conçu pour le traitement des plaquettes. Cette machine est capable de 850 plaquettes par heure et produit une très grande précision en termes de planarisation. TEL Trias LPA utilise une table rotative contenant quatre fixations de bol de plaquettes. La première de ces fixations permet à une plaquette de se caler solidement tandis qu'une autre supprime chimiquement toute caractéristique indésirable. Le lisier liquide sous-micron est utilisé en combinaison avec un outil de brosse pour assurer un polissage uniforme de la surface de la plaquette. La deuxième fixation permet un rinçage par ultrasons avec un cycle séparé du lisier liquide particulaire pour un nettoyage complet. La troisième installation est utilisée dans un procédé de lithographie, qui utilise une résine photosensible. La résine photosensible est exposée à une source lumineuse spécifique pour créer un motif désiré. La quatrième fixation est un rinçage tunnel qui sert à rincer la résine photosensible et tout autre résidu indésirable. Les systèmes de contrôle avancés de cette machine permettent de contrôler un large éventail de paramètres de processus tels que la température de la chambre, la pression et les débits de lisier jusqu'à une précision de 1 micron. De plus, TOKYO ELECTRON Trias LPA comprend un mécanisme de levage unique qui permet de régler la hauteur du bol de plaquette et des outils de brosse. Cette caractéristique élimine le besoin de réglage manuel et limite la perte de matière de la plaquette lors du polissage. Trias LPA est un équipement extrêmement fiable avec des résultats cohérents sur le long terme. Sa construction robuste garantit une longue durée de vie et ses caractéristiques de sécurité intégrées garantissent la sécurité des opérateurs. Cette machine est un choix idéal pour les fabricants à la recherche d'un graveur et asher fiable et rentable pour leurs besoins de traitement des plaquettes.