Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias MU SPA #9267460 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias MU SPA est un graveur/asher très avancé conçu pour le traitement des semi-conducteurs et des MEMS. Elle utilise des technologies de pointe telles que la puissance RF de 500 MHz, la spectrométrie de masse ionique secondaire en temps de vol (TOF-SIMS) et le dépôt de faisceau de basse énergie (LEBD) pour obtenir des résultats de gravure précis. La machine dispose d'un wafersize standard de 6 pouces, permettant de réaliser des analyses de haute précision pour un large éventail d'applications, y compris les cartes de circuit, les dispositifs MEMS, les capteurs et d'autres composants microélectroniques. Le graveur-asher est également équipé d'une chambre de dépôt de couche diélectrique ainsi que d'un équipement d'alignement optique in situ. TEL Trias MU SPA utilise un procédé de gravure multi-passe qui assure des résultats précis en utilisant une combinaison d'ions réactifs, en déposant des couches minces de dioxyde de silicium et de nitrure de silicium prédéfinis pendant le processus. Le graveur/asher dispose également d'un système multi-chambres qui lui permet d'améliorer les résultats du procédé de gravure en permettant l'utilisation de différents gaz pour chaque phase de gravure. TOKYO ELECTRON Trias MU SPA dispose également de plusieurs capacités de sécurité de pointe, telles que des systèmes avancés de contrôle des sources d'ions, une unité d'entretoisement sous vide et une machine complète de protection matérielle qui surveille et prévient les dommages accidentels à l'entraînement. Cela garantit un fonctionnement sûr et efficace sans compromettre la qualité des résultats. Trias MU SPA est bien adapté pour une utilisation dans des applications microélectroniques car il offre des processus de gravure et de dépôt de haute précision ainsi que des caractéristiques de sécurité supérieures. C'est un choix idéal pour une large gamme de projets liés aux semi-conducteurs et aux MEMS.