Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #293744369 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est un équipement de graveur/asher entièrement automatisé qui est bien adapté pour une utilisation dans une variété d'industries, y compris la technologie des semi-conducteurs, la technologie médicale, MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems) et d'autres domaines connexes. L'etcher/asher est un procédé avancé et un outil de métrologie utilisé dans la fabrication de MEMS. TEL Trias SPA est composé de trois composants : un Etcher à Plasma Pulsé, un Asher à Passivation Rapide et un Analyseur de Dimension Critique. The Pulsed Plasma Etcher utilise une combinaison de plasma, de radicaux gazeux et d'ions qui sont générés dans une torche à haute température pour graver des matériaux. Le Rapid Passivating Asher utilise une combinaison d'une torche à haute température et d'une solution TiCl2 pour éliminer les dépôts pulvérisés, tels que les films diélectriques et les particules résiduelles, tout en passivant simultanément les surfaces exposées. L'analyseur de dimensions critiques est capable de mesurer les dimensions des surfaces gravées ou cendrées avec une précision de sous-microns. TOKYO ELECTRON Trias SPA est conçu de telle sorte que l'ensemble de l'outil puisse être actionné de manière automatisée avec une entrée manuelle minimale. Il est logé dans une enceinte avancée qui fournit un environnement propre et comprend une armoire à gaz, une armoire de contrôle et plusieurs autres caractéristiques pour s'assurer que le processus reste propre et efficace. Trias SPA offre un certain nombre de fonctionnalités de pointe qui rendent le processus de gravure/cueillette plus facile et plus efficace. Cela comprend un laser de haute puissance pour le traitement 3D, un choix de sources d'énergie RF multiples pour aider à optimiser les applications, et une chambre de travail à température contrôlée pour une précision et une répétabilité optimales de la température. D'autres caractéristiques comprennent un système de contrôle de gravure à points multiples pour optimiser le processus de gravure et assurer l'uniformité, ainsi qu'une unité de protection intégrée pour assurer la sécurité de la machine en tout temps. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est un outil de gravure et de cendrage avancé qui convient à une grande variété d'applications. Avec ses fonctionnalités de pointe et ses systèmes automatisés, l'outil fournit un processus fiable et efficace qui peut aider à réduire les coûts, améliorer la productivité et maintenir un environnement de travail efficace et propre.