Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9205617 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA est un graveur/asher conçu pour le dépôt de couches minces sur des substrats. Il est conçu pour permettre un dépôt uniforme de couches minces sur une zone déterminée avec une précision et un contrôle exceptionnels. Cet etcher/asher est construit avec un équipement d'exploitation qui fournit une interface utilisateur intuitive. Il utilise une pluralité de dispositifs d'entrée/sortie, tels qu'un ordinateur, un panneau tactile et un afficheur, pour assurer un contrôle total du processus de fonctionnement. Le système comprend une chambre de dépôt, une unité de vide, une machine de distribution de gaz et un outil de pompes et de vannes. Il comprend également un générateur RF et une unité de commande qui contrôle le processus. Le graveur-asher utilise un générateur de plasma haute fréquence pour créer un plasma uniforme à l'intérieur d'une chambre de dépôt. Le générateur de plasma est accordé à une fréquence prédéterminée pour le matériau à couche mince désiré. Ceci permet un contrôle précis du procédé de pulvérisation, assurant un dépôt uniforme sur l'ensemble du substrat. Le graveur/asher peut être utilisé pour le dépôt de divers matériaux, tels que l'aluminium, le zinc et le titane, ainsi que d'une variété de films, y compris des matériaux cristallins et amorphes. L'actif peut également déposer des métaux, comme le cuivre et l'argent, sur un large éventail de substrats, y compris des plaquettes de silicium, des feuilles de plastique et du verre. En outre, il peut être utilisé pour déposer des substrats sous divers angles, y compris des matériaux déposés en phase vapeur, des matériaux déposés en colloïde et des matériaux déposés en faisceau d'électrons. Il a également la capacité de déposer des films multicouches. Le graveur/asher est équipé d'un ensemble de caractéristiques qui permettent une épaisseur de film précise et contrôlable. Ces caractéristiques comprennent la vitesse de dépôt personnalisable, le niveau de vide, la pression, la puissance RF et les niveaux de température de la chambre. En outre, un écran à gaz inerte peut être utilisé pour contrôler la vitesse de dépôt et empêcher le dépôt de matériaux indésirables, ainsi que pour fournir un environnement inerte à l'intérieur de la chambre de dépôt. Le graveur/asher est capable de fournir une vitesse de dépôt et un contrôle de procédé uniformes et ultra-précis sur une gamme de températures et de flux gazeux. Il est capable de déposer des films minces d'une épaisseur allant jusqu'à 50nm et plus gros avec reproductibilité répétable et uniformité de course en course. Cela augmente la précision du produit et diminue la variation d'une course à l'autre, d'où un rendement plus élevé et de meilleures performances. TEL Trias SPA etcher/asher est un produit fiable et durable qui peut fournir un dépôt uniforme de couches minces, avec une grande précision, sur les substrats. Il est facile à utiliser, très contrôlable, et peut être utilisé pour déposer une variété de matériaux différents. C'est un outil efficace qui peut aider à augmenter la qualité et la productivité de tout processus de dépôt de film.